简介：ThemethodsforprotectingInPsurfaceagainstdegradationduringannealing,includingencapsulantandencpsulant-freetechniques;rapidthermalan-nealingofInPimplantedlayers;implantedionspeciesandsomeprofilesoftypicaldopants,etc.,theyareallthekeytechniquesconcerningionimplantationintose-mi-insulatingInP,andhavebeenreviewedsyntheticallyaswell.
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