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  • 简介:摘要:晶圆测试是半导体封测的生产的重要环节。晶圆测试中,探针与其对应测试垫的位置对准非常关键。但该技术在准确性和效率方面仍有不足。尽管探针痕迹自动检测技术逐渐成熟,但利用探针痕迹对针位进行修正的主流方法仍为手动或者半自动,导致自动生产过程中断。随着图像处理水平的提高,从针痕自动检测时采集的图片中,可以快速准确的提取针痕和测试垫的几何信息,进而利用刚体运动模型和最小二乘拟合计算出最优修正参数。应用该方法于探针测试控制系统,开发出新型探针与测试垫对准修正系统。该系统部署在服务器端,通过网络与探针机通信,使图像采集、信息处理、修正控制全部自动化、标准化,提高了准确性和生产效率。 关键词:探针对准;探针痕迹处理;刚体运动;最小二乘 一、简介 晶圆测试工序是芯片封测流程的重要步骤,主要是对晶圆上的裸晶颗粒进行电性测试,筛选出良品送入后续封装环节。进行电性测试,需要通过大量探针连接测试资源和待测裸晶颗粒,每颗探针都需要准确可靠的接触裸晶颗粒上的对应金属测试垫。不良接触严重影响测试效果,甚至,探针接触到测试垫有效区域外面,产生结构缺陷,如裂纹,影响芯片可靠性。尤其近年来芯片集成度不断提高,边长40微米的方形测试垫越来越多的出现在产品中,对探针和测试垫的对准要求越来越高。而且,基于成本的考虑,测试并行度也在提升,同时测试上百个产品的测试方案越来越多,原有的对准方法在原理、速度方面不再适用。 通常,每个生产批次开始前,探针机要进行探针和测试垫的对准,之后进行探针与测试垫的试接触。会在测试垫金属表面留下探针痕迹,它反应了接触状况,影响测试效果和质量。因此,试接触后,要进行探针痕迹检查。对准是通过相机获取针尖和测试垫的位置信息计算的,针尖状态、探针滑动情况、对准系统误差等因素会影响对准效果。另外,提取针尖信息需要频繁对焦,速度较慢,限制了参与对准计算的针尖测试垫对的数量。因此,利用探针痕迹和测试垫的几何位置进行对准更加直接。 探针设备不断进步,可以在自动检测探针痕迹的同时,通过网络将相应图片传送到服务器。服务器上运行的离线对准系统对图片进行分析,识别探针痕迹和测试垫,提取其几何信息【1】,利用刚体运动模型和最小二乘拟合方法在探针机承载台平面内进行对准计算,产生沿承载台X、Y和θ轴的修正参数【2】。再远程控制探针机进行位置修正,改善接触情况。对于高并行度测试,由于探针众多,需要处理大量针痕图片。在服务器端,利用人工智能技术和并行计算,可以大幅提高图像处理速度和准确性,减少延迟。且通过并行处理,使探针设备的运行不受影响,同时进行生产测试。该独立运行于服务器的对准系统可以直接接入探针机测试机系统,也可以通过其它控制系统接入测试系统。 二、传统探针对准方法及系统 晶圆测试阶段,晶片未切割封装,需要通过探针连接裸晶颗粒上的金属测试垫和测试资源,进行电性测试。测试开始前,探针台对探针和金属测试垫进行位置对准,修正X、Y、Z和θ轴的运动参数,减小平移和旋转误差,确保良好的接触效果。测试过程中,探针机承载台将晶圆运至探针卡下并升起,使测试垫与探针针尖接触。在接触处会留下探针痕迹。 如图1所示,传统对准方法包括三个步骤:自动探针对准,自动晶圆对准和手动修正。探针对准时,探针机相机依次移动到待测针尖处,测量针尖位置。由于该测量需要在Z轴方向上通过多次聚焦搜寻针尖准确位置,较耗时,每根探针平均需要2秒。因此,尽管探针卡针数不断增加,但是由于时间成本,通常只选择少数探针进行对准。当然抽样量小会产生较大的误差,尤其是某些针尖磨损或位置偏移时。晶圆对准时,探针台通过相机获取探针对准中所选探针的对应测试垫的位置信息。探针机利用这些针尖和测试垫的位置信息,进行拟合计算并初步设定探针机载物台运动参数,并按照该参数进行试接触。 试接触时,常出现误对准情况,即在X轴、Y轴或θ轴上存在较大误差。严重时导致针痕在测试垫上的位置显著偏移,超过测试垫边缘,产生质量风险,此类芯片视为废品(MIL-STD-883)。该问题更多是由θ轴的转动误差造成,而非X轴或Y轴的移动误差。这是因为转动误差依三角关系沿晶片直径转化为X和Y向误差并放大。常见现象是沿一方向各裸晶颗粒上的针痕偏移程度逐渐严重。即使没有显著的误差,针痕位置也会在几个微米的范围内波动。再考虑针痕尺寸通常大于10微米,对于如今常见的40微米的方形测试垫,挑战严峻。因此,如何使针痕尽量靠近测试垫中心而远离其边缘非常重要。这对于安装数千甚至数万根探针的针卡,极具挑战,需要巧妙的算法和强悍的算力。但目前仍然需要操作人员手动修正。 手动修正是为了削减探针台自动对准误差,尽量使所有针痕接近理想位置。如图1虚线框内所示,包括试接触、目检和调整三个步骤。首先通过试接触产生针痕,以反映当前对准情况。然后观察针痕并依经验判断误差情况。接着对X、Y和θ轴误差进行手动修正。再循环进行试接触、目检、修正,直到针痕位置比较理想,结束手动修正,继续生产。该步骤需要操作人员手动操作、人为判断,非常耗时。对于针数较多的产品,人为判断常不理想,尤其θ轴误差常需调整,占时超过5%。考虑大量针痕的情况并做出判断,直觉和经验不够准确,需要自动的、定量的计算解决该问题。 三、新型探针对准方法及系统 传统探针和测试垫位置对准存在两大问题,一是探针对准步骤虽然是自动化的,但由于在Z轴上频繁对焦而耗时,只能抽样少量探针,而Z向误差较大。二是手动修正步骤耗时且不够准确,对X、Y和θ上的误差的修正不理想。对于问题一,已有电学接触方法来快速准确的对Z轴参数进行修正。因此对问题二,需找到新方法来解决X、Y和θ轴参数修正问题。随着技术发展,探针机自动目检功能逐渐成熟,大量包括针痕和测试垫的清晰图片可以在自动目检运行的同时从探针机相机发送到服务器,延时很短,不会对生产过程和效率产生影响。这些图片包含着进行X、Y和θ轴对准修正的完整信息。而且,生产中针尖常常变形或者被污染,针尖图像噪声大于针痕图像。利用这些几何信息可以分析出如何调整,但需要大量运算。因此,在新对准系统中, 利用服务器进行该计算,可以减少探针机系统负载。这样,在自动针痕检查时,探针机将图片和相关信息发送到服务器,并通知服务器开始运行新型对准修正系统。 图1 传统与新型探针对准流程

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  • 简介:研发安全有效的肿瘤靶向治疗的纳米探针是一项极具挑战性的任务。最近,上海交通大学和安徽医科大学研究组共同研发出一种生物相容性好、靶向性好、生物安全性高的智能化的纳米探针。实验表明,这种新颖的智能化纳米探针能准确识别活体肿瘤细胞与肿瘤中的新生血管内皮细胞,在近红外激光照射下,

  • 标签: 纳米探针 智能化 生物安全性 上海交通大学 血管内皮细胞 肿瘤细胞
  • 简介:随着PCB密度不断增加,单位面积测试点数上升很快,测试点之间的距离也日趋微观化。在细节距BGA应用中,每平方英寸测试点数从500(1.27毫米节距的BGA)到2500(0.5毫米节距的BGA)不等。超细节距的QFP和CSP(芯片级封装)的应用,测试点节距已小致1~2mil。而且,PCB市场出现

  • 标签: 测试技术 测试点 电阻测试 测试设备 网络测试 短路测试
  • 简介:简单介绍易拉罐酒机BSF部分参数和探针检测原理。对生产过程中出现探针损坏情况进行分析,并对探针头密封罩进行改造。对比改造前后电气元件使用成本,确立改造后在实现降低探针损耗的同时,提高了啤酒产量和成品质量。

  • 标签: 探针 开关门限 磁致伸缩 蒸汽 成本 节能降耗
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  • 简介:摘要:由于锌离子在人体细胞中广泛分布,在人体代谢过程中起着重要作用,特异性检测和监测锌离子浓度具有重要意义。荧光探针因其设计简单、操作方便、灵敏度高、可用于细胞成像等优点,在锌离子检测中得到了广泛的应用。荧光锌探针一般根据光诱导电子转移、分子内电荷转移、荧光共振能量转移、聚集诱导发射和螯合增强荧光等机制构建。本文对近年来报道的荧光锌探针进行了简要的综述。

  • 标签: 锌离子 识别机理 荧光探针
  • 简介:摘要黑素瘤是一种侵袭性很强的皮肤恶性肿瘤,具有快速生长和早期转移的特点,目前的治疗仍以手术切除为主。黑素瘤在早期诊断、彻底切除方面仍然存在一些挑战,影响患者的预后。目前荧光探针在黑素瘤的诊断、手术切除、前哨淋巴结定位及切除等方面均取得长足的进步,具有化学稳定性好、不良反应少、特异性高、准确率高、可视化等优点,可为黑素瘤的诊治提供新的思路。

  • 标签: 痣和黑素瘤 分子探针 诊断 治疗 荧光探针
  • 简介:摘要治疗脱髓鞘疾病的重点是保护髓鞘的完整性和促进髓鞘修复,这离不开有效的成像工具及其显像剂将疾病进展与髓鞘形成的程度联系起来。近年来,髓鞘特异性探针的开发使得活体内直接定量监测髓鞘含量成为可能,各种髓鞘的成像技术日益成熟极大地提高了监测髓鞘的特异性和敏感性。运用不同髓鞘探针和影像手段的优势互补能为以后临床脱髓鞘疾病的检测和治疗提供更多的选择手段。笔者对应用于光学成像、核医学成像、磁共振成像和多模态成像等影像学技术的髓鞘探针在脱髓鞘疾病的研究进展进行综述。

  • 标签: 髓鞘探针 脱髓鞘 多发性硬化症 荧光成像 正电子发射断层显像 磁共振成像
  • 简介:摘要纳米抗体凭借其优越的靶向性、稳定性、溶解度及组织穿透能力,已成为分子影像领域中的热门靶向分子。多种基于纳米抗体的分子影像探针在临床前研究和临床试验中均已展现出良好的诊断效能。笔者主要介绍纳米抗体分子影像探针在肿瘤中的最新研究进展,并进一步讨论其临床转化面临的挑战和应对策略。

  • 标签: 分子探针 纳米抗体 放射免疫显像 正电子发射断层显像术 肿瘤诊断
  • 简介:意法半导体(ST)推出新一代STLINK-V3探针,适用于STM8和STM32微控制器的编程和调试,该版本产品可进一步提高灵活性和效率。STLINK-V3支持大容量存储,配备多路桥功能的虚拟COM端口。

  • 标签: 微控制器 探针 调试 意法半导体 STM32 大容量存储
  • 简介:目的评价利用Florida探针对不同程度牙周炎的基础治疗疗效。方法随机选择2005年6月至2007年6月期间,中国医科大学口腔医学院牙周科轻度、中度和重度牙周炎患者各50例为研究对象,全部行牙周基础治疗。患者在治疗前和治疗结束后3个月时采用Florida探针检测患者的探诊深度(PD)和临床附着丧失(CAL),检测位点为患者全口天然牙(不包括第三磨牙)的近中颊、颊侧正中、远中颊和舌侧正中4个位点。轻度牙周炎共检测1370颗牙5480个位点,中度牙周炎1180颗牙4720个位点,重度牙周炎940颗牙3760个位点,比较治疗前后PD、CAL的变化。结果中、重度牙周炎的PD和CAL均有明显改善(P<0.05)。轻度牙周炎PD治疗前后的改变差异无统计学意义(P>0.05),附着丧失略微加重。结论牙周基础治疗对中、重度牙周炎具有良好的治疗效果。轻度牙周炎在治疗时应注意避免器械的过度使用,以免引起医源性损伤。Florida探针能够较准确、客观地评价牙周状况。

  • 标签: 牙周炎 Florida探针 牙周基础治疗
  • 简介:本文介绍了荧光比率探针,包括阳离子探针、阴离子探针、pH值探针、极性探针、氧化性和分子的比率测量探针的应用及近几年的研究进展。

  • 标签: 荧光分析 比率测量
  • 简介:摘要:过氧亚硝基(ONOO-)作为一种重要的生物氧化剂,在细胞信号传导、免疫等活动中具有重要的作用。本文介绍了几种用于ONOO-检测的荧光探针,其对于研究ONOO-的生理意义及相关疾病诊断等具有重要意义。

  • 标签: ONOO- 荧光探针
  • 简介:激光探针:稳定同位素分析的新式“武器”Ⅱ.不同类型激光探针的分析流程与优缺点比较肖益林郑永飞(中国科学技术大学地球与空间科学系,合肥230026)关键词激光探针稳定同位素分析分析流程优缺点1不同激光探针分析流程的比较1.1CO2激光探针的分析流程样品...

  • 标签: 激光探针 稳定同位素分析 分析流程 优缺点
  • 简介:摘要Tau蛋白的异常累积是阿尔茨海默病(AD)及非AD类Tau蛋白病的主要病理学特征,并且与神经变性和认知障碍密切相关。近年来,第一代特异性Tau蛋白PET分子探针已经被研发,并进行了临床试验。因第一代PET分子探针中常出现脱靶结合,促进了具有更高结合力和选择性的第二代特异性Tau蛋白PET分子探针的研发。笔者综述了Tau蛋白PET显像作为AD病理学生物标志物的潜力和Tau蛋白分子探针的最新进展。

  • 标签: Tau蛋白质类 阿尔茨海默病 正电子发射断层显像术 分子探针
  • 简介:目的评价线性探针法快速诊断耐药结核的应用价值。方法对99株结核分枝杆菌分离株采用GenoTypeMTBDRplus和MTBDRsl试剂盒进行利福平、异烟肼、氧氟沙星、卡那霉素、乙胺丁醇五种药物的耐药快速检测,与传统药物敏感性试验结果比较,评价其诊断试验的真实性。结果GenoTypeMTBDRplus检测利福平、异烟肼耐药的灵敏度和特异度分别为100%和50%、86.11%和47.06%。GenoTypeMTBDRsl检测氧氟沙星、卡那霉素、乙胺丁醇耐药的灵敏度分别为94.74%、62.50%、58.82%,特异度分别为92.59%、98.81%、91.67%。结论线性探针法GenoTypeMTBDRplus用于检测利福平耐药具有较高的灵敏度,GenoTypeMTBDRsl用于检测氧氟沙星耐药的灵敏度和特异度均较满意,可用于对疑似耐药患者进行早期快速检测。对异烟肼耐药的检测结果与其他报导差异较大,需要进一步验证后决定是否适合推广。卡那霉素和乙胺丁醇耐药机制不完全明确,线性探针的灵敏度较低,尚不适宜广泛应用于临床。

  • 标签: 结核 广泛耐药结核 分子探针