简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。
简介:摘要灯泡贯流式机组水流惯性时间常数大,机组惯性时间常数小。在有功功率闭环状态下,由于贯流式机组固有的反调特性,每次负荷调整时会检测到负荷向相反方向变化的趋势,若负荷调整时正处于水压波动的瞬间会加剧超调的幅度,造成负荷上下振荡。负荷大范围的波动,会使机组振动超标,严重时会触发定子过负荷造成非计划停运,给水轮发电机组的安全稳定运行带来了巨大的隐患。本文介绍了一次典型的有一台机组负荷振荡最终扩展到三台机组先后振荡的实例,通过分析其事故发生的原因并介绍相对应的处理办法。
简介:摘要目的讨论屈光矫治方式对近视眼单眼调节幅度的影响及其临床意义。方法选取160例我院在2016年2月到2018年2月治疗的近视眼患者,根据患者屈光矫治方式不同分为角膜接触镜组,框架眼镜组,未矫正组,屈光手术组。再选取40例健康志愿者为正视组。各组的患者均使用近点尺检测单眼调节幅度的情况。结果在近视眼的单眼调节幅度方面,框架眼镜组,角膜接触镜组,屈光手术组以及未矫正组,正视组之间比较差别较大(P<0.05)。其中,框架眼镜组,角膜接触镜组,屈光手术组,正视组的单眼调节幅度高于未矫正组,比较差别较大(P<0.05)。屈光手术组与角膜接触镜组的单眼调节幅度与正视组相比,没有较大的差别(P>0.05)。结论近视眼的单眼调节幅度受到屈光矫治方式的影响,其中实行合适的屈光矫治方式有利于维持正常的单眼调节幅度,具有重要的临床价值。