简介：针对传统惯性开关阈值散布大、万向性差等缺点,设计了一种环形无源万向微机电惯性开关。环形的可动质量框作为可动电极,由内部的四根折叠悬臂梁支撑,和外部的环状固定电极有一定间隙,构成xy平面内的万向开关。对设计开关进行有限元动态接触仿真,结果表明开关在1000g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.142ms和5s,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果。研究悬臂梁线宽与开关阈值加速度的关系,结果表示悬臂梁线宽的微小变化会引起阈值加速度的较大变化。利用冲击台试验对封装后的开关进行阈值试验,试验结果表明实际阈值分布在900g-1300g范围内,80%的开关阈值比设计值大。用微电镜对悬臂梁线宽进行静态测量,悬臂梁线宽加工误差大多分布于0-＋2m,加工误差直接导致开关的阈值加速度增加,设计阶段应充分考虑加工误差对阈值加速度的影响。

简介：针对现有力矩电机驱动角振动激励源频率难以超过100Hz、波形失真大、不能满足宽频高精度角振动校准需求的现状，提出采用框式结构电磁驱动方法，显著降低驱动线圈电感以实现驱动力快速响应，并采用精密轻质空心杯空气轴承实现轴系定位，以克服摩擦力、提高回转定位精度，结合有限元分析仿真，将空气轴承转子与励磁线圈骨架进行整体优化设计，使轴系固有频率提升至2800Hz以上。新的角振动激励装置的测试结果表明，工作频率范围达到600Hz，角加速度波形失真度小于2%，可实现1kg承载和1760rad/s2最大角加速度，超出德国PTB角振动标准给出的50g承载和1400rad/s2最大角加速度的技术指标，可更广泛用于高精度角振动校准及角运动传感器的动态性能评价。