简介:OnaccountofthemultiformityofMEMSdevices,itisnecessarytointegratewithsomeopticalmeasurementtechniquesformeetingstaticanddynamicunittestrequirements.Inthispaper,anautomatedMEMStestsystemisbuiltofsomecommerciallyavailablecomponentsandinstrumentsbasedonvirtualinstrumenttechnology.Thesystemisintegratedwithstroboscopicimaging,computermicro-vision,microscopicMirauphaseshiftinginterferometry,andlaserDopplervibrometer,andisusedforthemeasurementoffull-viewin-planeandout-of-planegeometricparametersandperiodicalmotionsandsinglespotout-of-planetransientmotion.Thesystemconfigurationandmeasurementmethodsareanalyzed,andsomeapplicationsofthemeasurementofin-planeandout-of-planedimensionsandmotionsweredescribed.Themeasurementaccuracyofin-planedimensionsandout-of-planedimensionalisbetterthan0.2μmand5nmrespectively.Theresolutionofmeasuringin-planeandout-of-planemotionsisbetterthan15nmand2nmrespectively.
简介:基于1D波浪的特征,在在不同装载下面的标本的压力一致性进程调节矩形并且一半正弦输入波浪在裂口Hopkinson压力被分析工具条(SHPB)测试。结果证明从一个宣传的一个有弹性的波浪的时间在一个标本结束到其它达到压力平衡,与在标本和输入/输出酒吧之间的输入波形和相对机械阻抗有关。在此中与相对阻抗的increae,在装载的矩形的输入波浪下面的时间减少,当它在一半正弦输入下面增加时,飘动装载。相应于有相对机械阻抗的增加的压力平衡增加的地位的标本的尺寸更少压力价值。然而,在一半正弦输入波浪装载下面的尺寸更少压力值是比在矩形的输入波浪与低机械阻抗,和更少的应力不到二珍视随相对机械阻抗的增加装载条件减少的尺寸的相对差异为标本装载下面的值显著地低的。一般来说,有在一半正弦输入波浪装载下面的相对低的机械阻抗的标本的强迫的状态比在矩形的输入波浪在装载随相对机械阻抗的增加弱的拐弯的一半正弦输入波浪下面在强迫的状态的SHPB测试,和优点装载下面的状态显然优异。