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14 个结果
  • 简介:本文用微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD)在单晶硅衬底上制备多晶金刚石薄膜,反应气体为CH4和H2。利用扫描电镜(SEM)和Raman光谱研究了CH4流量和反应时间对多晶金刚石薄膜形貌和碳结构的影响。结果表明:随着CH4流量的增加,金刚石的成核密度增加,并出现二次形核,金刚石颗粒从单晶逐渐转变为多晶结构。多晶金刚石薄膜的生长过程为:生长初期在单晶硅衬底上形成非晶碳层,金刚石在非晶碳层上成核长大,并伴随着二次成核,最终形成多晶金刚石膜。

  • 标签: 多晶金刚石薄膜 MPCVD 生长特性 化学气相沉积系统 单晶硅衬底 RAMAN光谱
  • 简介:采用合理、有效的控制方式来实施加工对象的区域加工是提高数控加工效率、保证数控加工质量的关键之一.在利用MasterCAM系统进行数控加工编程时,可以采用限制刀具边界(toolcontainmentboundaries)、设置干涉面(checksurfaces也称保护面)、添加"辅助面"等控制方式来实现加工对象的区域加工.

  • 标签: 加工对象 数控加工编程 加工控制 刀具 CAM系统 工效
  • 简介:本文报道了一种利用两步热丝化学气相沉积法来提高金刚石薄膜质量的方法,在Si(100)基体上获得了面积45cm^2、厚度60μm的金刚石薄膜。第一步是在HFCVD反应室生长CVD金刚石薄膜,第二步是利用H2SO4:CrO3的饱和溶液对样品进行处理,再用H2O2:NH4OH(1:1)溶液冲洗干净,处理之后再沉积第二层金刚石薄膜。利用SEM、拉曼光谱、XPS分析金刚石薄膜。结果表明,薄膜厚度达60μm,纯度很高,并且在整个面积上是均匀的。

  • 标签: 热丝化学气相沉积(HFCVD) 金刚石 两步生长法 大面积
  • 简介:高等职业教育的模具设计与制造专业人才培养应保持与社会需求紧密对接,服务于区域内模具产业的新型工业化建设。同时,由于我国模具产业发展不均衡,不同区域所需的高技能人才不尽相同。高职院校需引导社会各界特别是行业企业积极参与,结合各自的区域特色和产业特点,改革和发展高职模具设计与制造专业的人才培养模式。

  • 标签: 高等职业教育 区域经济 新型工业化 人才培养模式 模具设计与制造