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  • 简介:低压化学气相淀积(LPCVD)设备主要为微电子机械系统(MEMS)在硅基片上淀积Si3N4、Poly-Si(多晶硅)、SiO2薄膜。承担形成微传感器和微执行器的抗蚀层、结构层和牺牲层的加工任务。是MEMS技术中的主要生产工序之一,也可以用于集成电路钝化膜制备。

  • 标签: 低压化学气相淀积 微电子机械系统 硅基片 二氧化硅薄膜
  • 简介:材质为2A14铝合金深孔杯形毛坯件,由于壁薄,材料热变形温度范围窄,合金流变困难,若采用常规锻造的反挤压成形方法,势必造成杯体内、外壁变形不均,温度下降过快,变形抗力大,成形难度较大。等温成形工艺是零件毛坯精化和优化的一个重要途径,但对设备和模具的要求较高,成本高。因此运用有限元数值模拟结合试验对铝合金杯形件挤压成形工艺进行可行性研究,以减少研究试验成本。

  • 标签: 成形工艺 等温挤压 铝合金 杯形件 有限元数值模拟 试验成本
  • 简介:目的:探讨作用于大跨度曲面屋盖非定常气动力的特性,为考虑非定常气动力影响的大跨度曲面屋盖抗风设计提供理论参考。创新点:1.采用强迫振动试验;2.采用大涡模拟(LES)流入脉动风的生成方法;3.研究大跨度曲面屋盖非定常气动力特性。方法:1.通过强迫振动风洞试验方法探讨风速、强迫振动振幅、屋盖的矢跨比和缩减频率对非定常气动力的影响;2.采用计算流体力学数值模拟重现风洞试验,从而在更宽的缩减频率范围内分析非定常气动力的特性,并且通过可视化流场的分析探讨风与屋盖相互作用的机理。结论:1.屋盖的振动对屋盖表面的风压分布影响较大。2.屋盖的振动可能抑制屋盖背风面漩涡的脱落。3.根据风洞试验和数值模拟的结果分析得到的矢跨比、风速和振动振幅对气动阻尼系数和气动刚度系数的影响较小;气动阻尼系数和气动刚度系数主要随着缩减频率的变化而变化。4.气动刚度系数为正值,使得结构的总刚度减小,从而减小结构的固有频率;气动阻尼系数为负值,使得结构总阻尼增加。5.风洞试验和LES模拟结果的一致性可以说明,LES是一个能够有效研究非定常气动力特性的数值模拟方法。

  • 标签: 大涡模拟 大跨度曲面屋盖 非定常气动力 风洞试验 强迫振动试验
  • 简介:分析了等效中子注量在线测量系统研制的要素,确定了探测器制作、连接、退火、数据采集等关键工艺,研制了等效中子注量在线测量系统,实现了探测器的小型化以及多路测量。经实验验证,该系统的中子注量测量结果与用活化箔法测量的结果吻合。

  • 标签: 等效中子注量 探测器 双极晶体管
  • 简介:运用等离子喷涂技术制备多层屏蔽复合涂层,根据钽、钨、锡材料的物理特性及工艺特点,分别设计了自动喷涂工艺,既保证了涂层的性能,又提高了喷涂工艺的重复性;在喷涂区域使用氩气保护装置制造局部隋性气氛,简便有效地控制了涂层材料在高温等离子体喷射过程中的氧化:综合使用温度测试、力学拉伸、金相组织及化学成分等分析方法,综合考虑优化喷涂功率、喷涂距离等喷涂参数对基体温度、涂层中氧化物含量、涂层密度的影响,优化喷涂工艺参数,制备出厚度均匀、绢织致密的Ta/W/Sn复合涂层。

  • 标签: 等离子体喷射 复合涂层材料 LYL2铝合金
  • 简介:大型激光装置的聚焦光斑的光强均匀性、能量利用率和旁瓣等都有非常苛刻的要求:能量利用率需大于90%;不均匀性小于5%而且要求激光束旁瓣非常小。就当今光学技术水平而言,由于光学元件的制作精度、材料的非均匀性以及高功率激光的非线性效应等共同影响,使得激光装置输出的激光束无法满足要求。

  • 标签: 制作工艺 理论设计 相位板 大型激光装置 能量利用率 光强均匀性
  • 简介:膜分离技术具有能耗低、单级分离效率高、工艺简单、不污染环境等突出优点,在处理铀污染废水中应用前景广阔。作者曾采用混凝沉淀并结合中空纤维膜微滤(如.22μm)一体化工艺(CMF)处理含镅废水:研究了体系pH值、硫酸亚铁加入量等工艺参数的影响,并确定了最优参数;经该工艺处理后的废水中^241Am浓度小于最大允许排放浓度(1Bq/L),去污率大999.9%,去污因子1309-47600,平均浓缩倍数为190,相当于现有的两级蒸发工艺水平,并投入了实际应用,处理含^241Am废水约60m^3。

  • 标签: 含铀废水 组合工艺 膜微滤 ^241AM 絮凝 排放浓度
  • 简介:提出了一种用于相对论磁控管(RM)中轴向输出线极化TE11同轴波导模式的新型输出结构。该器件采用10谐振腔结构并工作在π模式上,通过合理设计谐振腔结构与输出同轴波导之间的微波提取结构,模拟实现了线极化TE11同轴波导模式的微波输出。与传统全腔提取结构相比,该新型输出结构,不仅能更容易地实现线极化TE11同轴波导模式的微波输出,而且在此基础上能更容易地实现更高频段RM的设计。粒子模拟结果表明:当电压为220kV,磁场为0.4T时,该器件的工作频率为4.38GHz,输出功率为208MW,功率转换效率达到46.6%。

  • 标签: 高功率微波 相对论磁控管 线极化TE11模式 同轴波导
  • 简介:介绍了兆伏级有界波电磁脉冲模拟器脉)中源的组成及特点。通过数值模拟分析了模拟装置等效电路,给出了峰化电容及输出开关对装置输出波形的影响,总结了峰化单元的设计特点,提出了一种低气压、低电压短间隙放电等效高气压、高电压长间隙放电的方法。同时,基于等效方法设计了结构尺寸为1:1验证实验,实测了实验电路输出电场波形。实验结果表明,采用电容、开关、天线一体化的结构设计,能够最大限度地减小峰化回路的电感,输出双指数波上升沿可达到1.8ns。该实验为兆伏级有界波电磁脉冲模拟器峰化段的设计提供了参考。

  • 标签: 垂直极化 有界波模拟器 峰化单元 上升沿
  • 简介:利用蒙特卡罗模拟程序MCNP研究了NaI(Tl)探测器对海水中137Cs、131I的比计数率响应情况;计算了NaI(Tl)探测器对不同半径海水球体源中137Cs与131I的比计数率响应曲线;分析了探测器防水套筒、NaI(Tl)晶体尺寸与结构、射线能量等因素对比计数率响应的影响;拟合了3R3型、5R5型NaI(Tl)探测器最大比计数率ymax及有效探测距离D。防水套筒模型与裸晶体简化模型的计算结果对比表明,裸晶体模型会给计算带来明显的偏差,应在模型设计时,考虑探测器结构,构建更精确的模型。

  • 标签: MCNP NAI(TL)探测器 137Cs 131I 就地测量
  • 简介:采用激光二极管双侧泵浦横向流连续液体系统,具有很明显的优点:泵浦源与介质吸收谱的耦合效率高、激光介质的循环流动可以避免热量累积、液体介质不会像晶体一样存在热致双折射和断裂特性等。首先建立激光振荡的物理模型,分析系统参数对激光输出功率的影响;模拟系统的转换效率与参数之间的关系,检验该系统输出高功率的可能性。

  • 标签: 能量转换效率 激光二极管 激光系统 液体系统 模拟系统 侧泵浦
  • 简介:利用FMECA(FailureMode、EffectsandCriticalityAnalysis)方法对电爆管在作用过程中的故障原因、后果及影响的严重程度进行了分析,划分了严酷度类别和发生概率等级,结果如表1所示。

  • 标签: 电爆管 CA方法 FME 应用 工艺 MODE
  • 简介:电火花加工是基于工具与工件间脉冲性火花放电产生的电腐蚀现象来加工工件的,特别适用于复杂形状、特殊要求零件和难加工材料的加工。但是电火花加工r机理极其复杂,加工参数的选择在很大程度上取决于机床操作者的熟练程度,由于操作者的经验和知识所限,往往使电加工机床的性能和功能得不到充分发挥,甚至达不到加工要求。电火花加工所选取的工艺参数直接决定工艺效果,而工艺参数和工艺效果之间的关系异常复杂,解决工艺参数选择难的关键是建立一个合理有效的电火花加工选择模型,进而实现工艺参数的自动优化选取。

  • 标签: 电火花加工 选择模型 加工工艺 改进BP网络 工艺参数选择 电加工机床
  • 简介:利用核动力系统安全分析程序中的三维水力部件模型,模拟了CPR1000反应堆在发生主蒸汽管道破裂(mainsteamlinebreak,MSLB)事故后,堆芯入口处的温度空间分布情况.分析了主蒸汽管道破裂事故发生后,堆芯入口处的流体温度分布形成原因.结果表明:单环路主蒸汽管道破裂后会导致堆芯入口温度分布不均匀,破口侧温度降低.

  • 标签: CPR1000 主蒸汽管道破裂 系统程序 三维水力模型
  • 简介:目的:探索燃料富氧燃烧过程中不同浓度CO2的稀释作用对NOx生成的影响,为探索Nx在O2/CO2气氛中生成机理研究提供理论基础。创新点:提出一种无分支链式反应解释说明CO2在还原性粒子环境中对反应的影响。方法:通过ChemkinPro中塞流式反应器模块对混入NH3的CH4燃料在O2/CO2气氛中反应进行数值模拟,同时改变CO2的稀释程度来探索CO2浓度对NOx生成的影响,并比较不同反应机理下的模拟结果,探索此环境中NOx的生成机理(表1)。结论:1.无支链反应机理可用于解释CO2在还原性粒子环境中对Nq生成与还原的影响;2.随着C02浓度的升高,无支链反应和支链反应相互竞争H,进而抑制NO的生成;3.在对NH,转化效率的影响方面,CO2浓度增加引发的无支链反应和支链反应对H的竞争,在富燃料条件下从促进转化变为抑制转化,在化学当量和贫燃料条件下从无影响变为抑制转化。

  • 标签: CO2 富氧燃烧 NO 燃料稀释
  • 简介:精密垫片零件,如图1所示,零件材料为1Cr18Ni9Ti,强度大(σb=650MPa),有一定塑性。从零件尺寸精度看,φ4mm外圆为IT7级精度,φ4mm外圆与φ2mm内孔有很高的同轴度要求,冲裁断面与零件两端面有垂直度要求,普通冲压不能达到零件精度:从工序的角度看,有冲孔和落料工序,剪切面粗糙度Ra≤3.2μm,属于光洁冲裁范畴;另外,技术条件中要求零件两大面不得有任何划伤,且光滑平整。总体上看,该零件的冲压加工性不好,难度较大,对模具的设计、选材、制造要求都较高。

  • 标签: 模具设计 有限元分析 精冲工艺 垫片 1CR18NI9TI 零件材料
  • 简介:一铅铸件采用“外层块状成形冷铁配内侧整体成形冷铁”的工艺,在确定工艺参数时,如果设计的浇注充型压力、充型速度不适当,金属液就易出现紊流,导致卷入气体而形成气孔、渣孔等铸造缺陷。因此,在进行实际浇注试验前,运用华铸CAE/InteCAST铸造模拟系统对设计的浇注工艺进行了充型及凝固过程的数值模拟,分析充型及凝固过程中流动场、温度场的变化情况,以确定适合的工艺参数值。

  • 标签: 工艺应用 低压铸造 CAE系统 铸件 充型速度