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梳齿式电容微加速度传感器专利技术综述
梳齿式电容微加速度传感器专利技术综述
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摘要
摘要梳齿式电容微加速度传感器是电容式微加速度传感器的一种典型结构,具有结构简单、灵敏度高、响应快等优点,其以优越的性能和应用价值而成为国内外攻关的热点之一。本文通过对梳齿式电容微机械加速度传感器这一主题的专利文献进行分析,梳理了其在全球范围内的专利申请发展趋势,统计分析了其国内外主要申请人的申请量排名情况以及申请人的主要类型构成,并对梳齿式电容微加速度传感器的部分核心专利技术进行了归纳和分析。
DOI
kd2rzqwp46/3396662
作者
伊慧贞
机构地区
国家知识产权局专利局专利审查协作天津中心天津市300300
出处
《基层建设》
2019年5期
关键词
梳齿
电容
加速度
传感器
分类
[建筑科学][建筑设计及理论]
出版日期
2019年05月15日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
基层建设
2019年5期
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