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电容式加速度传感器机电耦合分析

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摘要摘要：电容式传感器是将被测参数变换成电容量的测量装置，具有结构简单、灵敏度高、功耗低、温度性能优越和使用范围广等优点，可用于加速度测量。本文采用有限元分析法，对基于电容式加速度传感器模型的机械力学性能进行模拟，再将传感器有限元模型作为电容单元加入传感器电路中，对加速度作用下传感器电流变化情况进行模拟，充分反映传感器在加速度作用过程中的电性能变化，并对电容式加速度传感器进行了机电耦合仿真分析。

DOI 34gxgrw3d9/6807631

作者张宇

机构地区中国电子科技集团公司第四十九研究所

出处《中国科技信息》 2022年19期

关键词电容式传感器加速度荷载机电耦合

分类 [][]

出版日期 2023年02月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）