对微传感器系统技术及应用的浅析

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摘要 摘要:微传感器系统是典型的多学科交叉前沿性研究领域,融合自然科学与工程技术的大多数领域。由于微传感器系统技术涵盖范围广,本文从广义的角度概述了微传感系统的主要技术和特点,以及其典型的应用方向。
出处 《科学与技术》 2021年7期
关键词
出版日期 2021年06月21日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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