简介:摘要:微传感器系统是典型的多学科交叉前沿性研究领域,融合自然科学与工程技术的大多数领域。由于微传感器系统技术涵盖范围广,本文从广义的角度概述了微传感系统的主要技术和特点,以及其典型的应用方向。
对微传感器系统技术及应用的浅析