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硅片清洗方法及硅片清洗设备

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摘要摘要:随着科技的发展对集成电路的使用也越来越多，对其工艺制造技术要求也越来越严格。硅片是集成电路的重要配件。在实际使用过程中，为了能够提高集成电路制作工艺，保证其使用效果，必须对硅片进行清洗。因此，研究和探索硅片清洗方法以及研发硅片清洗设备，是提高半导体加工效率的重中之重。本篇文章主要针对硅片清洗方法以及硅片清洗设备进行分析和研究，希望能够对硅片清洗提供更多的参考意见。

DOI wjv2265qd7/5880998

作者孙蕊

机构地区中国电子科技集团公司第46研究所天津 300220

出处《建筑实践》 2022年2期

关键词硅片清洗方法清洗设备

分类 [文化科学][]

出版日期 2022年04月25日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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