摘要
摘要：微纳尺度结构的精确表征对于现代科学和工程领域至关重要，然而，传统的光学干涉测量方法在应对微观尺度和纳米尺度结构时面临着挑战。本研究旨在探索创新的光学干涉测量方法，以克服传统方法的局限性，提高测量分辨率、速度和适用性。在本文中，我们首先介绍了光学干涉的基本原理和传统应用，强调了其在微纳尺度结构表征中的潜在问题。随后，我们提出了一种基于微纳原理的创新方法，以在微观尺度上实现高分辨率的表征。我们详细描述了实验设计和实施，展示了该方法在微纳尺度结构表征中的卓越性能。实验结果表明，这一创新方法不仅可以提高表征的分辨率，还具有非接触性和非破坏性的优势。最后，我们讨论了这一创新方法的潜在应用领域，包括工业制造和科学研究，并指出了未来发展方向。本研究为微纳尺度结构的精确表征提供了一种新的途径，有望在各个领域推动科学和技术的进步。
出版日期
2023年11月09日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
