摘要
摘要:本研究致力于多晶硅晶体生长自动化控制技术的深入研究。通过综合利用先进的晶体生长设备和先进的控制算法,实现了多晶硅晶体生长过程的高度自动化。研究中采用了先进的传感技术,实时监测晶体生长过程中的关键参数,包括温度、浓度、流速等,以实现精确的控制和调节。同时,采用了先进的数据分析技术,对大量的实验数据进行分析和挖掘,以进一步优化生长过程。本研究的成果将有助于提高多晶硅晶体的质量和生产效率,推动半导体行业的发展。
出版日期
2024年03月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)