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半导体行业洁净室施工过程中的质量监督与验收标准研究

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摘要摘要:本论文旨在研究半导体行业洁净室施工过程中的质量监督与验收标准。首先，分析了洁净室施工中可能存在的质量问题，包括施工材料选择不当、工艺控制不严和设备安装调试不到位等方面。随后，通过综合国家标准、行业规范和实际经验，制定了一套完善的监督与验收标准体系，覆盖了施工材料选用、工艺控制、设备调试等多个方面。最后，通过实践应用与效果评估，验证了标准体系的实用性和有效性。

DOI rdx9e2w85d/8173997

作者吕涛涛

机构地区中国电子系统工程第二建设有限公司

出处《工程建设标准化》 2024年3期

关键词半导体行业洁净室质量监督验收标准施工过程

分类 [建筑科学][建筑理论]

出版日期 2024年04月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）