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某半导体厂房能耗分析

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摘要摘要：集成电路厂房是高能耗产业，其电费支出通常是非常高的。晶圆制造过程中涉及多个复杂的步骤和设备，这些都需要大量的电力支持。此外，晶圆厂还需要维持厂房的洁净环境，只要厂房运转，无论产量多少，都必须维持厂房的运转，这也会增加电费支出。

DOI pd5kz23rmd/8286795

作者王炳林

机构地区 130681199010155833

出处《中国建设信息化》 2024年7期

关键词集成电路厂房高能耗电力支持

分类 [建筑科学][城市规划与设计]

出版日期 2024年05月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国建设信息化

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集成电路厂房高能耗电力支持

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