3 - 44 Production and Annealing Behavior of Lattice Damage in Energetic Kr Implanted 6H-SiC-中国期刊网

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（整期优先）网络出版时间：2012-01-11

作者: Meng Yancheng Zhang Chonghong Ma Tongda Fu Xin

理学 >物理

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离子注入退火温度 6H-SIC 损伤行为晶格氪

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