图像分析在测量激光光束品质中的应用

(整期优先)网络出版时间:1998-04-14
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本文针对具体的KrF准分子激光器输出光束,运用光楔对KrF激光光束分光测量,对实验所得数据进行了图像处理,测量了KrF激光光束的一维能量分布和远场发散角;在图像分析仪Magiscan(2)的基础上开发出二维能量密度分布的分析程度,具体计算了KrF激光光束剖面的能量密度分布的均匀性。