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《电子元器件应用》
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用溅射法制备混合集成电路中的Ci·SiO薄膜电阻器
用溅射法制备混合集成电路中的Ci·SiO薄膜电阻器
(整期优先)网络出版时间:2002-08-18
作者:
王军峰;殷小莉;等
电子电信
>电路与系统
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资料简介
介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
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介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
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混合集成电路
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