A comparative study of the properties of TiN films deposited by MAIP and FCAP

(整期优先)网络出版时间:2007-06-16
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在这研究,听电影的二种类型被准备,一使用用多弧离子小块地(MAIP)的有一个在里面飞机S过滤器的过滤cathodic弧血浆(大页书写纸)技术,和其它,和两个在一样的参数下面扔了。质地,坚硬,粗糙,tribological和听电影的二种类型的电气化学的腐蚀行为的比较被给。FCAP技术获得的听电影被发现高度一致、光滑、macroparticle免费。听电影由有的大页书写纸扔了一(111)比较喜欢取向,当有时,在这些电影的质地都没由MAIP扔。在低负担下面,二种听涂层有很不同穿机制;有的大页书写纸的电影一更低与MAIP技术扔的听电影相比穿率和磨擦系数。大页书写纸的听电影的稠密、没有洞的结构能有效地在腐蚀测试期间从底层避免听电影的雪崩。