简介：摘要：在集成电路行业晶圆制造中有大量进口半导体工艺设备，各国的电压标注不一致导致了半导体工厂电力系统存在多种电压等级。同时晶圆制造非常精密，在整个制造过程中各种半导体设备对电力品质的要求非常苛刻，因此会使用到大量的不间断电源装置供电。文章通过对集成电路行业特殊电压的生产设备、特殊电压的不间断电源装置分析，提出集成电路行业晶圆厂不间断电源解决方案。
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