简介:摘要本文提出了一种相移掩模(PSM)在国产清洗机PMC1500上清洗时phase掉落幅度控制的方法。在相移掩模制备过程中,影响phase值大小的因素较多,干法蚀刻的时间,清洗工艺等对相移掩模的phase值都有很大的影响。177°—183°的phase大小,是PSM版在晶圆工厂使用的常规要求,研究中提出了对相移掩模清洗phase值掉落的控制,在保证清洗能力的情况下,通过对清洗过程中影响phase值掉落的重要因素进行改良,清洗流程包中包含SPM清洗以及SC1清洗的工艺,通过逐一改变SPM以及SC1的清洗条件,实现对PSM掩模phase值掉落的控制研究,最终确定了SC1清洗工艺时间对PSM掩模phase掉落的影响较大,通过控制SC1的清洗工艺方式,有效地控制PSM掩模清洗时phase值的掉落。
简介:为响应国家“一带一路”对外开放战略,推动全球再平衡,充分利用我国高分辨率遥感卫星数据,生产全球地理空间数据产品,提供全球高精度地理信息综合服务,从全球地理信息资源建设项目核心矢量生产流程入手,介绍了其技术流程和新的技术手段。
简介:文章研究了一种基于双基地电磁矢量阵列(EMVA)的多入多出(MIMO)雷达的二维发射角和接收角的估计算法。针对稀疏阵列情况下传统角度估计算法的周期性模糊问题,提出了一种利用极化矩阵来求取收发信号波印廷矢量,从而实现解模糊的算法。为提高参数估计精度,需要满足新的正交约束条件:要求不同阵元间发射的信号以及空间共点的同一阵元内所有的偶极子天线发射的信号都相互正交。从而可以利用极化矩阵求得发射角的不模糊估计。与传统算法相比,该算法可以增大阵元间距但不会产生角度模糊,从而提高了角度估计性能。同时避免了谱峰搜索和额外的配对过程。仿真实验验证了算法有效性。