简介:O436.12005031643用微光学技术制作位相型聚焦光栅=Phase-typefocusinggratingpreparedbymicro-opticstechnique[刊,中]/纪宪明(南通师范学院物理系.江苏,南通(226007)),沐仁旺…∥半导体光电.-2004,25(5).-388-390根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有色散分光和聚焦光谱线功能的位相型光栅。这种光栅具有较高的光谱分辨本领和