简介:TN305.72002032298光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量=Opticalproximitycorrectionforimprovingpatternqualityinsubmicronphotolithography[刊,中]/石瑞英(四川大学物理系.四川,成都(610064)),郭永康(中科院微电子中心.北京(100010))//半导体技术.-2001,26(3).-20-26论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。图8表1参14(李瑞琴)TN305.72002032299光刻技术在微细加工中的应用=Applicationoflithographytechnologytomicroelectronicmanufacturing[刊,中]/刘建海(上海先进半导体制造有限
简介:TJ765.32006065461提高泡沫云对红外/毫米波复合制导干扰效果的实用途径研究=AvenueofimprovinginterferenceeffectagainstIR/MMWguidancebyspecialfoamscrecn[刊,中]/金良安(海军大连舰艇学院航海系.辽宁,大连(116018)),战希臣…//红外与毫米波学报.—2006,25(3).—188-191为寻求提高特种泡沫云对IR/MMW复合制导干扰效果的实用途径,进行了专门的理论研究和实验分析。结果表明,在通常的毫米量级下,泡沫云中的气泡直径越小,对
简介:城市生活垃圾袋装化已成为我国城市生活垃圾主要的收集方式,在垃圾处理过程中,根据选择性破碎的原理,开发、研制了破袋破碎分选机。其工作原理是:当袋装生活垃圾由进料口进入破袋破碎分选机内,经过低速破袋破碎辊筒的第一次破袋后,在袋内垃圾分散的同时进行选择性破碎,即对大块的有机物进行破碎,对大块、硬质无机物不进行破碎;高速破袋破碎辊筒将低速破袋破碎辊筒破袋不充分的垃圾袋再次进行破袋,同时再次对垃圾进行选择性破碎,使大块有机物得到充分破碎,有利于后续分选:两级避让装置和破袋破碎刀片的自我保护功能能够使大块、硬质无机物不被破碎而直接通过。拨料辊筒中伸缩运动的拨料棒将破袋后的塑料袋、柔韧性物料和大块无机物挑走。垃圾中的有机物和无机物由不同的出料口排出。
简介:用法布里──珀罗干涉仪或标准具,可观察到钠光谱两条D线又各自分裂为两条谱线的超精细结构。我们用法布里──珀罗标准具和迈克尔逊干涉仅改装的法布里──珀罗干涉仪测量其裂距与文献记载相符。我们把它设为一个近代物理实验题目。