简介:本文主要对中油大港石化分公司160万吨/年富气压缩机的调速控制系统改造后的调速动作逻辑、操作方法、维护和使用进行了重点阐述,并简单介绍了TS3000调速控制的组成、原理和使用维护。
简介:本文叙述了660MW中间再热机组强制循环汽包炉的炉本体采用盐酸清洗、采用磷酸和多聚磷酸盐进行漂洗钝化的清洗工艺方法.其特点在于:为减缓金属腐蚀,必需严格控制清洗工艺配方.通过缓蚀剂对比小型试验探索出:在酸洗配方和水冲洗过程中,添加适量的异抗坏血酸钠还原剂可以抑制三价铁离子对金属的腐蚀,并可避免因水冲洗时间过长而产生二次锈蚀.该工艺实际应用后效果良好,金属腐蚀速率及腐蚀总量均显著小于(DL/T794-2001)所规定的标准.该工艺还探索出:在酸洗和酸洗后的冲洗水中添加异抗坏血酸钠后,能够有效抑制三价铁离子的腐蚀危害,并减少二次锈蚀的产生.
简介:在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。