首页 > 《电力设备》 > 2019年12期 > 金刚线切割单晶硅片与规则性碎片分析程志峰

金刚线切割单晶硅片与规则性碎片分析程志峰

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要随着国内金刚线制造和应用技术的不断成熟，加之市场需求的快速增长不断的刺激金刚线制造技术向细线化方向发展，金刚线细线化切割工艺已成为行业内硅片制造技术发展趋势。越来越细的金刚线满足不同尺寸形状硅片的切割要求就是硅片制造技术需要研究的重要方向。本文主要针对因细线化切割出现规则性碎片进行分析。

DOI 6jrrvl9wj5/3333063

作者程志峰张晓俊赵洪军

机构地区（黄河上游水电开发有限责任公司青海西宁810008）

出处《电力设备》 2019年12期

关键词金刚线细线切割规则性碎片

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年11月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）