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半导体行业超纯水制造技术的研究

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摘要摘要：随着超纯水技术在半导体工业中的应用日益普及，对超纯水性能的要求也随之提高。在半导体器件的制造中能源消耗很大，由于其精密的生产和加工工艺的复杂，对其配套设施的要求也越来越高，特别是对半导体工业的血液——超纯水系统的要求更高。因此要加强对半导体行业超纯水制造技术的深入研究，明确超纯水生产技术工艺，并且提出超纯水节能措施，保证半导体行业的可持续发展。

DOI zdl0qvwpdl/6146764

作者裴鹏曦

机构地区世源科技工程有限公司上海市2000000

出处《家园·电力与科技》 2022年7期

关键词半导体超纯水制造技术

分类 [][]

出版日期 2022年07月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）