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关于超纯水制造技术在半导体行业的分析
关于超纯水制造技术在半导体行业的分析
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摘要
摘要:纯水是目前电子产品中常见的原料,但由于纯水的生产要求严格,规模较小,目前的超纯水设备需要创新。由于其精密生产和加工工艺的复杂性,对其配套设施的要求也越来越高。因此,有必要加强对半导体行业超纯水制造技术的深入研究,明确超纯水的生产工艺,提出超纯水的节能措施,以确保半导体行业的可持续发展。
DOI
rj81q10p40/7796582
作者
宋圣豪
机构地区
身份证号:310230199409145153
出处
《科技新时代》
2023年14期
关键词
半导体
超纯水
制造技术
分类
[建筑科学][建筑技术科学]
出版日期
2023年11月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
科技新时代
2023年14期
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