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12英寸半导体集成电路超纯水深度除有机工艺优化设计

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摘要摘要：该工程为某 12英寸半导体集成电路项目超纯水系统，原水为当地市政自来水，处理能力 450 m3/h，针对 TOC、尿素、电阻率等难点水质指标进行了深度优化设计。

DOI 5joeev1z4v/4843736

作者仲建辉戎宇舟

机构地区江苏中电创新环境科技有限公司江苏无锡

出处《科学与技术》 2020年15期

关键词半导体集成电路超纯水制备有机物

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2020年09月30日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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半导体集成电路超纯水制备有机物

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