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半导体设备关键部件薄壁环工艺技术改进

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摘要摘要：随着半导体制程的先进程度也逐渐提升。半导体装备零部件也变得原来越复杂的同时还要保证机零件结构轻量化，薄壁环部件已广泛应用在相在半导体装备上。

DOI 54y22ok9j0/7616452

作者郑胜华

机构地区浙江先导精密机械有限公司浙江衢州324200

出处《科技新时代》 2023年11期

关键词半导体设备薄壁环加工工艺

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年09月26日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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