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集成电路核心工艺装备技术的现状与展望

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摘要摘要：集成电路是信息产业发展的核心，不仅关系到经济社会发展，还会影响国家信息安全。文章针对集成电路核心工艺装备技术进行研究，通过分析总结近年来的文献资料和工业成果，阐述了刻蚀装备的发展历程，介绍了刻蚀装备核心技术的应用现状，并对集成电路制造工艺的未来进行展望。希望通过本文，为集成电路的设计制造提供参考，促进整个行业健康快速发展。

DOI ojnnrxk5jr/7898837

作者张智聪

机构地区广东中科半导体微纳制造技术研究院广东佛山 528000

出处《工程建设标准化》 2023年16期

关键词集成电路核心工艺设备现状未来展望

分类 [建筑科学][建筑理论]

出版日期 2023年12月20日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）