光电集成与器件

(整期优先)网络出版时间:2002-04-14
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TN2562002042749SOI集成光电子器件=SOI-basedoptoelectronicdevices[刊,中]/魏红振,余金中,张小峰(中科院半导体所集成光电子国家重点实验室.北京(100083)),刘忠立(中科院半导体所微电子中心.北京(100083)),史伟,