简介：摘要：该工程处理的废水为某12英寸集成电路生产工序中产生的高浓度氨氮废水。针对氨氮废水浓度高、双氧水浓度高、生物处理难度大及废水排放标准日益严格的问题，该工程采用“两级氨氮吹脱+硫酸吸收”组合工艺处理高浓度氨氮废水，高效、稳定氨氮深度去除。结果表明：经组合工艺处理后，NH3-N，H2O2，满足《电子工业污染物排放标准》（二次征求意见稿）中的表2标准。氨氮废水处理系统运行稳定，运行经济合理。该工程运行效果稳定，投资及运行费用较低，处理工艺及设计参数对同类工程具有一定的参考意义。 关键词：氨氮废水；半导体；硫酸铵；吹脱 Abstract: The wastewater treated by this project is a high-concentration ammonia nitrogen wastewater produced in a 12-inch integrated circuit production process. Aiming at the problems of high ammonia nitrogen wastewater concentration, high hydrogen peroxide concentration, difficulty in biological treatment and increasingly stringent wastewater discharge standards, the project adopts the "two-stage ammonia nitrogen stripping + sulfuric acid absorption" combined process to treat high-concentration ammonia nitrogen wastewater with high efficiency and stable deep removal of ammonia nitrogen . The results show that: NH3-N2O2 Keywords: Ammonia nitrogen wastewater; semiconductor; ammonium sulfate; blow off 引言 12英寸半导体集成电路制造产生的废水成分复杂，污染物浓度高、毒性强，水质水量变化幅度大，处理工艺复杂。大部分半导体集成电路企业会根据自身情况对废水进行分类，对废水进行分质处理。主要分为：酸碱废水、含氟废水、CMP废水、CMP-Cu废水、TMAH废水、ORG废水和氨氮废水。 其中集成电路生产过程，在光刻和化学机械研磨等工序中，氨氮废水时使用氨水和双氧水清洗半导体基材而产生，有氨氮和双氧水浓度较高的特点。氨氮废水的处理方法主要分为四种：触媒法、吹脱法、生物法和生物+吹脱法。根据不同的进出水水质要求选择合适的处理工艺，则应用最多的方法是触媒法，其次是吹脱法，然后是生物法，最后是生物+吹脱法。[1] 本文主要介绍了某12 英寸半导体集成电路项目废水系统高浓度氨氮废水处理的工程实例，处理工艺及设计参数对同类工程具有一定的参考意义。 1 工艺设计 1.1 水质水量 该工程处理的废水为某12英寸集成电路生产工序中产生的高浓度氨氮废水，水量35m3/h。设计进出水水质如表1所示（注：本系统的出水水质为进入有机生物处理系统的水质）。 表1 高浓度氨氮废水处理系统设计进出水水质 氨氮废水 pH （无量纲） NH3-N（mg/L） H2O2（mg/L） 进水 9~11 ＜2500 ＜2500 出水 11~12 40 40 1.2 工艺概况 根据高浓度氨氮废水进出水的水质水量特点、处理要求及经济适用性，高浓度氨氮废水处理工艺如下： 1.2.1 工艺流程说明 该工程采用“两级氨氮吹脱+硫酸吸收”组合工艺处理氨氮废水。氨氮废水有高氨氮浓度和高双氧水浓度的特点，废水首先进入氨氮废水收集池，通过水泵将废水输送至氨氮废水pH调节池，在pH调节池中用NaOH将废水pH调节至11，保证后续吹脱工序的展开。pH调节池的氨氮废水通过水泵输送进入氨氮吹脱塔之前，需要通过一组两级的换热器对氨氮废水进行升温至55℃。氨氮吹脱塔分为两级，通过空气对氨氮进行吹脱，吹脱出来的氨氮通过随着空气进入硫酸吸收塔，通过硫酸进行吸收，制成硫酸铵，硫酸铵进入硫酸铵收集罐，最后将硫酸铵委外处理，资源化再利用，为企业带来一定的经济效益和社会效益；经过氨氮吹脱塔吹脱过得高浓度氨氮废水，进入有机系统的生化处理单元，为生化系统提供氮源。经两级氨氮吹脱工艺处理后，氨氮处理效率大于95%，产水NH3-N，H2O2。 本工艺根据进水高氨氮、高双氧水的特点，采用吹脱工艺，可以有效的同步去除氨氮和双氧水，产生的硫酸铵可以作为资源化产品委外处理，还可以得到一定的收益，降低了高浓度氨氮废水的运行成本。 1.2.2 主要构筑物设计参数 （1）氨氮废水收集池 设置氨氮废水收集槽1座，其有效容积为970m3，材质混凝土衬胶，水力停留时间为27h。 （2）氨氮废水调整槽 设置氨氮废水调整槽1座，其有效容积为20m3，材质FRP，水力停留时间为45min。 （3）氨氮废水换热器1 氨氮废水换热器1是两级换热器的第一级，将经过吹脱后的氨氮废水作为热源，将氨氮废水升温至35℃。换热器采用SUS316材质，设置1套，设计处理量为35m3/h。 （4）氨氮废水换热器2 氨氮废水换热器2是两级换热器的第二级，将半导体厂的蒸汽作为热源，将氨氮废水由35℃升温至55℃。换热器采用SUS316材质，设置1套，设计处理量为35m3/h。 （5）一级吹脱塔 氨氮吹脱塔常采用逆流操作，塔内装有一定高度的填料，以增加气—液传质面积从而有利于氨气从废水中解吸。常用填料有拉西环、聚丙烯鲍尔环、聚丙烯多面空心球等。氨氮废水被提升到填料塔的顶部，使用布水器将水分布到填料的表面，通过填料往下流动，与气体逆向流动，空气中氨的分压随氨的去除程度增加而增加，随气液比增加而减少。一级吹脱塔设置1套，设计处理量35m3/h/套，φ3000×H10000mm，材质FRP，填料为拉西环。 （6）二级吹脱塔 一级吹脱塔设置1套，设计处理量35m3/h/套，φ3000×H10000mm，材质FRP，填料为拉西环。 （7）氨气吸收塔 氨气吸收塔常采用逆流操作，塔内装有一定高度的填料，带有氨气的空气从塔底进入，硫酸通过循环提升泵提升到填料塔的塔顶，使用布水器将水分布到填料的整个表面，通过填料往下流，与气体逆向流动，吸收氨气，制成硫酸铵溶液。通过测定循环硫酸的pH值，判断硫酸铵的浓度，浓度达到25%的硫酸铵将被转移至硫酸铵收集罐中，进行委外处理。[2]氨气吸收塔设置1套，设计处理量35m3/h/套，φ3000×H10000mm，材质FRP，填料为拉西环。 （8）硫酸铵收集罐 设置硫酸铵收集罐1座，其有效容积为15m3，材质FRP。

简介：摘要：该工程为某 12英寸半导体集成电路项目超纯水系统，原水为当地市政自来水，处理能力 450 m3/h，针对 TOC、尿素、电阻率等难点水质指标进行了深度优化设计。