简介:摘要超纯水是当前在电子产品方面较为常见的一种原料,但是在当前,由于纯水的制作要求较为严格,并且规模化较小,这就导致了当前对超纯水的设备需要进行革新,本文主要对EDI纯水生产设备进行探究,从而对超纯水制备工艺和设备进行探析,希望对相关从业者有一定的帮助。
简介:摘要:本文探讨了在超纯水制备过程中的两种关键技术应用,即电子数据交换(EDI)和混床技术。EDI利用电化学过程去除水中离子,从而获得高纯度的水,减少了传统离子交换工艺的耗材和废水产生。混床技术结合阳离子和阴离子交换树脂,进一步提高了水质。这两种技术的综合应用在超纯水制备中取得显著效果,为微电子、制药等领域的工艺提供了可靠的水源。本研究有助于优化超纯水制备工艺,提高产品质量和生产效率。
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简介:美国IBM公司半导体制造工厂一直在加工一种纯净水,每小时加工8万加仑,每天加工200万加仑,从不停歇。因为,如果没有这种纯净水,他们就无法制造微芯片。他们叫这种水为“超纯水”,因为它比自来水干净一千万倍,纯净到几乎没有任何杂质。
简介:摘要超纯水在很多领域中发挥重要作用,同时污水处理的最终目的也为生产出超纯水,从成本和加工复杂度角度考虑,离子交换技术取得的实际效果最佳。基于对离子交换技术类型和原理的分析,本文总结了这种方法的最佳应用方法,以提高超纯水的生产质量,让离子交换技术更好被应用到实际的超纯水生产。
简介:摘要超纯水在集成电路工业中主要应用于半导体原材料与工业器皿的清洗和光刻掩模版的制备以及作为硅片氧化用的水汽源等。另外,在薄膜和印刷电路、厚膜电路与其他固态电子器件以及真空管的制作都会使用超纯水。本文针对超纯水的系统施工和工艺进行深入探究。
简介:阐述美国《国家半导体技术发展战略》中存储器的发展目标对其关键材料超纯水在水质和耗量降低上的要求。以我国8英寸/0.18微米和12英寸生产线和相关数据与其对照.表明在总有机碳、溶解氧等项水质参数巳可满足该发展要求,而在SiO2、微粒限定、检测技术以及超纯水耗量降低等方面尚有差距和问题,提出相应的解决方案,讨论了超纯水等项水资源消耗的降低途径。重申了水回收的意义,关注“功能水”和高效,省能的GDI(聚合型电去离子)装置将是有益的。
简介:摘要:随着超纯水技术在半导体工业中的应用日益普及,对超纯水性能的要求也随之提高。在半导体器件的制造中能源消耗很大,由于其精密的生产和加工工艺的复杂,对其配套设施的要求也越来越高,特别是对半导体工业的血液——超纯水系统的要求更高。因此要加强对半导体行业超纯水制造技术的深入研究,明确超纯水生产技术工艺,并且提出超纯水节能措施,保证半导体行业的可持续发展。
简介:摘要以世界十大半导体公司之一的美国IT公司为例,介绍其典型的ptP精度的多种离线水质分析工具。
简介:摘要: 超纯水是把水中所有的电解质都除去,使悬浮物,微生物,微粒,有机物,溶解气体等降低到最低限度。在25℃条件下,超纯水的理论电阻率为18.25 M. cm.在电子行业中,生产的超纯水主要应用在晶片制造、一般机台用水、设备零件清洗、化学品稀释等方面。其中,生产用水主要是酸洗、有机溶剂清洗、黄光显影清洗、机械研磨清洗等。利用脱离子、反渗透、离子交换等技术,制备了一种新型的超纯水。文章着重对超纯水在电子行业中的应用进行了分析。
简介:本文以8"芯片生产厂超纯水系统为实例,浅析250T/h以上的大规模超纯水系统和管网的设计,并就施工中的质量和安全管理作一些探讨。
简介:摘要:纯水是目前电子产品中常见的原料,但由于纯水的生产要求严格,规模较小,目前的超纯水设备需要创新。由于其精密生产和加工工艺的复杂性,对其配套设施的要求也越来越高。因此,有必要加强对半导体行业超纯水制造技术的深入研究,明确超纯水的生产工艺,提出超纯水的节能措施,以确保半导体行业的可持续发展。
简介:摘要:电感耦合等离子质谱法(ICP-MS)检测超纯水中43项痕量金属杂质。将传统需三次实验简化成一次,保证检验准确性及精密度的同时,达到降本增效的目的。实验结果证明:实验校正曲线线性相关系数、检验回收率、检验相对标准偏差均符合要求。此优化方法可行,值得推荐。
简介:摘要:随着部分科技的发展和进步,信息化处理技术,成为城市现代化进展的重要技术,超纯水处理技术,在近些年来的经验累积下,超纯水处理系统,已经变得更加系统化。
简介:摘要:本文主要研究了18MΩ超纯水工艺方案的技术比选问题。首先对超纯水的基本概念和应用领域进行了介绍,然后分析了不同工艺方案的优缺点,并结合实际情况进行了技术比选。最后总结了本文的主要研究成果。
简介:摘要:高纯水的品质在这些行业中起着非常重要的作用,对产品的质量也是决定性的。因此,在高纯水的生产过程中,保证高纯水装置的连续稳定运行,提高高纯水的品质成为行业的关注重点。在保证稳定运行提高品质的同时,降低装置的运行成本则能降低消耗,进一步提高生产效益。
简介:摘要
简介:摘要:微生物控制、系统回收率的提高,以及纯水分配控制是制药纯水系统设计、建造和运营的重要考虑因素。良好的系统工艺既能保证生产的用水安全,还能改善设施的运营成本。本文主要分析制药纯水制备和分配的工艺优化措施。
简介:摘要:本文将围绕我国制药工业用水状况进行分析讨论,阐述一系列纯水制备以及注射用水制备的工艺流程,并提出所需的制备装置,以及不同装置之间的性能比对,以此确保医药用水满足相关安全标准。
简介:摘要:该工程为某 12英寸半导体集成电路项目超纯水系统,原水为当地市政自来水,处理能力 450 m3/h,针对 TOC、尿素、电阻率等难点水质指标进行了深度优化设计。
超纯水制备工艺和设备的研究
EDI和混床在超纯水制备中的应用
半导体工业中超纯水制备工艺的特点和发展
超纯水也是一种毒药
超纯水制造中离子交换技术分析
浅谈超纯水系统工艺及系统施工
纳米级集成电路与超纯水
半导体行业超纯水制造技术的研究
超纯水精处理系统与水质评价
电子工业用超纯水设备技术及应用
8”芯片生产厂超纯水系统设计浅析
关于超纯水制造技术在半导体行业的分析
超纯水中43种金属杂质检测方法优化
超纯水处理系统设计及其信息化方向研究
18MΩ超纯水工艺方案的技术比选研究
氯碱工业中高纯水制备探讨
基于集成电路封装测试的超纯水系统的设计与优化
制药纯水制备和分配的工艺优化措施
制药工业纯水与注射用水制备工艺研究
12英寸半导体集成电路超纯水深度除有机工艺优化设计