简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。
简介:情报保障是联合作战体系中不可或缺的要素.为指导情报信息系统的研制,首先,阐述了美军情报组织架构,研究了情报界(1C)和联合情报机构在美军联合作战体系中的地位和作用,分析了其间的协调机制;其次,介绍了各级联合情报机构的信息系统部署,重点分析了作战司令部(CC-MD)级和联合特遣部队(JTF)级情报信息系统的组成和功能,在此基础上,总结了美军情报信息系统的发展趋势;最后,给出了联合情报组织架构设置和情报信息系统建设的启示.
简介:1.中国洗净工程技术合作协会(CCETCAChinaCleaningEngineeringTechnicalCooperationAssociation)是成立于1994年5月17日的中国清洗行业的全国性组织,是由清洗行业的企事业单位、研究院所、大专院校等单位自愿组成的非盈利性的行业性民间组织。协会的任务是:遵照自愿、合作、互利