简介:首先介绍了多晶电阻在线监控和工艺控制模块(PCM)监控的两种方法:四探针法和范德堡法,并解决了四探针法在线监控方法多晶电阻波动大的问题;针对生产过程中遇到的多晶电阻偏小问题,通过扫描电镜分析发现多晶晶粒明显偏大,通过对多晶淀积速率的分析确定多晶速率越小,多晶淀积晶粒越大,根据多晶导电理论可知多晶晶粒大,晶粒间界变小,晶粒间界杂质俘获变少,多晶掺杂浓度转化为载流子的比例变高,因此多晶电阻变小。最后根据工程实践列举了影响多晶淀积速率的两大主要因素为多晶淀积温度和多晶炉管维护次数,为保证多晶淀积速率稳定,多晶炉管维护次数尽量少于6次,同时需要对多晶淀积温度进行控制。
简介:摘要正如党中央提出的,青少年是国家的未来和民族的希望;为实现中华民族伟大复兴的中国梦而奋斗是中国青年运动的时代主题。而青少年要是复兴伟大的中国梦就必须从接受良好的教育开始。教育心理学对教育青少年起了至关重要的作用,运用其中的学习策略,学生可以更有效率地学习,教师也可借助学习策略的力量,引领同学走学习上更为顺畅的道路。它直接影响到教育行为的成功。心理教育行为贯穿于全部教育教学活动中。心理教育行为承担着四个方面的任务培养、开掘、预防和补救。而对于像我一样的在校师范生来说,学好发展教育心理学不仅对自身学习有很大的帮助,而且对未来走上讲台后有深远的启发意义。