简介：通过在北京高能所3W1束线上进行的X光深层光刻工艺研究，获得了侧壁光滑、陡直、厚度达100μm，深宽楷比达20的光刻胶和金属微结构，表明该光束线适用于LIGA技术的研究。
简介：
简介：为了确定核电厂反应堆控制棒驱动机构(CRDM)焊接机焊接工艺参数,应用正交试验设计法进行了Ω焊缝焊接工艺评定试验,用数理统计方法分析了对焊缝质量产生影响的各焊接参数的主次顺序,得到了最优生产条件。
简介：GaAs半导体材料可以提高器件运行速度，日益引起人们的注意，但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个，一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来，该工艺采用三层胶方法，曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的，并且取得了好的结果。
LIGA技术X光深层光刻工艺研究
LIGA工艺制造微驱动马达的初步研究
Ω焊缝焊接工艺参数的正交试验设计
全新深亚微米X射线T型栅工艺
在3W1束线上进行X光深层光刻工艺研究
中国核工业集团公司部门文件 中核安发[2002]41号 关于进一步开展企业设计规范、试验规范和工艺规范制定与实施工作的意见
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