简介:在亚微米工艺中,多晶栅TiSi工艺是降低接触电阻的常用方法。但是TiSi的生长与衬底的掺杂浓度相关,对多晶栅的掺杂剂量有很高的要求。由于光刻工艺中存在的套刻偏差,使得后续源漏注入剂量会在多晶栅上有所偏差,影响了后续TiSi在多晶栅上的生长。文章采用多晶栅上生长一层LPCVDSiN作为掩蔽层的方法,避免了由于光刻套刻偏差引入的注入剂量偏差,改善了后续多晶栅上TiSi的生长。通过对As注入和P注入在不同SiN厚度掩蔽层下穿透率的研究发现40nm左右基本可以阻挡95%的N+S/DAs注入剂量而保留80%的多晶栅P注入剂量。该种掩蔽层方法有很多优点:源漏注入的条件不用更改;多晶栅注入的可调节剂量范围大大增加,可以更好地保持重掺杂多晶栅特性。
简介:摘要:T型焊缝广泛应用于电力和化工领域,其结构特殊较进行难射线检测,通过对T型焊缝的结构分析和对射线检测方式特点的分析,研究了T型焊缝射线检测时的技术特点和应对措施,结果表明在进行了优化措施后可以较好的检测出T型焊缝中存在的缺陷。
简介:提出了一种亚微米深度的纯位相型玻璃衍射光栅制作工艺,采用光刻制栅方法对要制作的光栅结构进行了分析;用AUTOCAD绘图软件绘制光栅的排列布局以及MATLAB软件对设计出的图案进行衍射图样模拟,在基于数字微镜的光刻机上进行曝光,由涂覆光刻胶的铬玻璃上得到缩微图案;观察了单色激光的夫琅禾费光栅衍射图样,以确定最终的设计图案;用电子束刻蚀方法得到的铬掩膜板进行常规光刻工艺处理,得到纯位相型的衍射光栅,最后通过对衍射光栅的衍射图案的失效性分析确定最佳的光刻工艺。结果表明:利用光刻制栅方法不仅可以在玻璃上制得纯位相型光栅,同样也可以在硅片、金属等其他基底上制得光栅或其他光学重复单元,方法可行,且材料成本不高。
简介:《1898》是1973年为DG成立75周年庆典创作的童声与器乐作品。它与该委托公司有着内在的紧密联系。1898年,DG成立前不久,声音的振动被录制到一张黑胶盘上。对莫里西奥·卡格尔来说,回顾这一重大突破,那真是体验“19世纪末音乐X射线”的好时候,同时也是试图“从作曲上重新建构那些音效不稳的首j比唱片中的音乐”(卡格尔语)的时刻。在《为复古乐器创作的音乐》中,既没有“对未来的预测和指向,也没有对过去的屈服与回归”(卡格尔语)。作曲家用“历史”乐器演奏,这种风尚自此风靡一时。但在1965—1966年他创作这些作品时,他的创作还是让人困惑——尤其是,一位当代作曲家在“演奏”历史时竟如此娴熟。卡格尔自己监督了《1898》的录制。现在值DG百年纪念之际,也是这部作品诞生后四分之一世纪之时,DG第一次将它录成CD,与《为复古乐器创作的音乐》(同样是第一次录制成CD)一同出版发行,其合伙人是科隆西德广播电台。