简介：摘要：晶圆测试是半导体封测的生产的重要环节。晶圆测试中，探针与其对应测试垫的位置对准非常关键。但该技术在准确性和效率方面仍有不足。尽管探针痕迹自动检测技术逐渐成熟，但利用探针痕迹对针位进行修正的主流方法仍为手动或者半自动，导致自动生产过程中断。随着图像处理水平的提高，从针痕自动检测时采集的图片中，可以快速准确的提取针痕和测试垫的几何信息，进而利用刚体运动模型和最小二乘拟合计算出最优修正参数。应用该方法于探针测试控制系统，开发出新型探针与测试垫对准修正系统。该系统部署在服务器端，通过网络与探针机通信，使图像采集、信息处理、修正控制全部自动化、标准化，提高了准确性和生产效率。 关键词：探针对准；探针痕迹处理；刚体运动；最小二乘 一、简介 晶圆测试工序是芯片封测流程的重要步骤，主要是对晶圆上的裸晶颗粒进行电性测试，筛选出良品送入后续封装环节。进行电性测试，需要通过大量探针连接测试资源和待测裸晶颗粒，每颗探针都需要准确可靠的接触裸晶颗粒上的对应金属测试垫。不良接触严重影响测试效果，甚至，探针接触到测试垫有效区域外面，产生结构缺陷，如裂纹，影响芯片可靠性。尤其近年来芯片集成度不断提高，边长40微米的方形测试垫越来越多的出现在产品中，对探针和测试垫的对准要求越来越高。而且，基于成本的考虑，测试并行度也在提升，同时测试上百个产品的测试方案越来越多，原有的对准方法在原理、速度方面不再适用。 通常，每个生产批次开始前，探针机要进行探针和测试垫的对准，之后进行探针与测试垫的试接触。会在测试垫金属表面留下探针痕迹，它反应了接触状况，影响测试效果和质量。因此，试接触后，要进行探针痕迹检查。对准是通过相机获取针尖和测试垫的位置信息计算的，针尖状态、探针滑动情况、对准系统误差等因素会影响对准效果。另外，提取针尖信息需要频繁对焦，速度较慢，限制了参与对准计算的针尖测试垫对的数量。因此，利用探针痕迹和测试垫的几何位置进行对准更加直接。 探针设备不断进步，可以在自动检测探针痕迹的同时，通过网络将相应图片传送到服务器。服务器上运行的离线对准系统对图片进行分析，识别探针痕迹和测试垫，提取其几何信息【1】，利用刚体运动模型和最小二乘拟合方法在探针机承载台平面内进行对准计算，产生沿承载台X、Y和θ轴的修正参数【2】。再远程控制探针机进行位置修正，改善接触情况。对于高并行度测试，由于探针众多，需要处理大量针痕图片。在服务器端，利用人工智能技术和并行计算，可以大幅提高图像处理速度和准确性，减少延迟。且通过并行处理，使探针设备的运行不受影响，同时进行生产测试。该独立运行于服务器的对准系统可以直接接入探针机测试机系统，也可以通过其它控制系统接入测试系统。 二、传统探针对准方法及系统 晶圆测试阶段，晶片未切割封装，需要通过探针连接裸晶颗粒上的金属测试垫和测试资源，进行电性测试。测试开始前，探针台对探针和金属测试垫进行位置对准，修正X、Y、Z和θ轴的运动参数，减小平移和旋转误差，确保良好的接触效果。测试过程中，探针机承载台将晶圆运至探针卡下并升起，使测试垫与探针针尖接触。在接触处会留下探针痕迹。 如图1所示，传统对准方法包括三个步骤：自动探针对准，自动晶圆对准和手动修正。探针对准时，探针机相机依次移动到待测针尖处，测量针尖位置。由于该测量需要在Z轴方向上通过多次聚焦搜寻针尖准确位置，较耗时，每根探针平均需要2秒。因此，尽管探针卡针数不断增加，但是由于时间成本，通常只选择少数探针进行对准。当然抽样量小会产生较大的误差，尤其是某些针尖磨损或位置偏移时。晶圆对准时，探针台通过相机获取探针对准中所选探针的对应测试垫的位置信息。探针机利用这些针尖和测试垫的位置信息，进行拟合计算并初步设定探针机载物台运动参数，并按照该参数进行试接触。 试接触时，常出现误对准情况，即在X轴、Y轴或θ轴上存在较大误差。严重时导致针痕在测试垫上的位置显著偏移，超过测试垫边缘，产生质量风险，此类芯片视为废品（MIL-STD-883）。该问题更多是由θ轴的转动误差造成，而非X轴或Y轴的移动误差。这是因为转动误差依三角关系沿晶片直径转化为X和Y向误差并放大。常见现象是沿一方向各裸晶颗粒上的针痕偏移程度逐渐严重。即使没有显著的误差，针痕位置也会在几个微米的范围内波动。再考虑针痕尺寸通常大于10微米，对于如今常见的40微米的方形测试垫，挑战严峻。因此，如何使针痕尽量靠近测试垫中心而远离其边缘非常重要。这对于安装数千甚至数万根探针的针卡，极具挑战，需要巧妙的算法和强悍的算力。但目前仍然需要操作人员手动修正。 手动修正是为了削减探针台自动对准误差，尽量使所有针痕接近理想位置。如图1虚线框内所示，包括试接触、目检和调整三个步骤。首先通过试接触产生针痕，以反映当前对准情况。然后观察针痕并依经验判断误差情况。接着对X、Y和θ轴误差进行手动修正。再循环进行试接触、目检、修正，直到针痕位置比较理想，结束手动修正，继续生产。该步骤需要操作人员手动操作、人为判断，非常耗时。对于针数较多的产品，人为判断常不理想，尤其θ轴误差常需调整，占时超过5%。考虑大量针痕的情况并做出判断，直觉和经验不够准确，需要自动的、定量的计算解决该问题。 三、新型探针对准方法及系统 传统探针和测试垫位置对准存在两大问题，一是探针对准步骤虽然是自动化的，但由于在Z轴上频繁对焦而耗时，只能抽样少量探针，而Z向误差较大。二是手动修正步骤耗时且不够准确，对X、Y和θ上的误差的修正不理想。对于问题一，已有电学接触方法来快速准确的对Z轴参数进行修正。因此对问题二，需找到新方法来解决X、Y和θ轴参数修正问题。随着技术发展，探针机自动目检功能逐渐成熟，大量包括针痕和测试垫的清晰图片可以在自动目检运行的同时从探针机相机发送到服务器，延时很短，不会对生产过程和效率产生影响。这些图片包含着进行X、Y和θ轴对准修正的完整信息。而且，生产中针尖常常变形或者被污染，针尖图像噪声大于针痕图像。利用这些几何信息可以分析出如何调整，但需要大量运算。因此，在新对准系统中， 利用服务器进行该计算，可以减少探针机系统负载。这样，在自动针痕检查时，探针机将图片和相关信息发送到服务器，并通知服务器开始运行新型对准修正系统。 图1 传统与新型探针对准流程

简介：摘要目的分析B型超声诊断子宫肌瘤应用与超声检查特征。方法选取子宫肌瘤患者50例作为观察对象，所有患者均实施B型超声检查诊断，观察B型超声在子宫肌瘤病症诊断当中的临床价值。结果50例患者通过B型超声检查发现患者的子宫底部均有强回声团的存在，周围边界限相对清晰。横切面、斜切面检查发现子宫左侧角位置有直径大小相近强回声光团的患者有39例，发现子宫右侧角位置大小接近的强光团回声患者有11例。经B超检查诊断肌瘤的直径小于5厘米的患者有25例，子宫肌瘤直径5至9厘米的有10例。与病理诊断结果比较，B超诊断准确率为86.0%。结论B型超声检查对子宫肌瘤病症的诊断准确度较高，能够有效提高临床应用价值，B型超声检查具备操作简便、无痛、无创与重复性较好、诊断准确度较高。

简介：摘要：目的：分析异常子宫出血检查中宫腔镜检查的应用价值。方法：随机抽取本院内妇产科收治子宫出血患者 50例进行分组研究，根据不同检查方法分成观察组与对照组，每组 25例患者，观察组进行宫腔镜检查，对照组进行阴道 B超检查，对比两组检查结果。结果：在检查结果相符率上，观察组显著高于对照组。在阳性检出率上，观察组显著高于对照组。两组间差异显著（ p＜ 0.005）。结论：在异常子宫出血检查中，有效的应用宫腔镜不仅可以提升其阳性检出率，还可以使得医生更好的掌握患者实际病情。

简介：摘要目的分析异常子宫出血检查中宫腔镜检查的应用价值。方法随机抽取本院内妇产科收治子宫出血患者50例进行分组研究，根据不同检查方法分成观察组与对照组，每组25例患者，观察组进行宫腔镜检查，对照组进行阴道B超检查，对比两组检查结果。结果在检查结果相符率上，观察组显著高于对照组。在阳性检出率上，观察组显著高于对照组。两组间差异显著（p＜0.005）。结论在异常子宫出血检查中，有效的应用宫腔镜不仅可以提升其阳性检出率，还可以使得医生更好的掌握患者实际病情。

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简介：摘要目的研究分析子宫内膜病理检查使用宫腔镜检查的诊断价值，给临床子宫内膜病变检查提供依据。方法2008年1月至2015年12月我院对330例宫腔镜检查后行诊断性刮宫或子宫内膜活检病例进行分析，对患者接受宫腔镜检查以及病理检查的差异性进行比较。结果宫腔镜检查显示，患者子宫内膜增生期和分泌期的腺体增生、子宫内膜炎情况存在差异性；分泌期的内膜、子宫内膜炎和内膜癌患者其子宫息肉样病变的比例为29.7%、0.7%和0.0%。结论进行子宫内膜疾病检查时，使用宫腔镜后进行子宫内膜病理检查可以提升检查的准确性，为临床诊断提供参考，让患者的治疗更加的准确有效。

简介：摘要：目的 探讨宫腔镜检查后子宫内膜病理检查在子宫内膜病变诊断中的价值。方法 研究对象选择到我院进行宫腔镜检查的子宫内膜病变患者，数量共56例，研究时间从2019年11月到2021年2月，以随机的方式将所有患者分为观察组和对照组两组，每组数量分别为28例，其中对照组在检查和诊断时使用传统的宫腔镜，观察组在此基础上继续展开子宫内膜病变检查以及诊断，对两组患者阳性检出率等数据进行分析和对比。结果 对两组患者阳性检出率数据进行统计对比，对照组阳性检出例数为17例，阳性检出率为60.71%；观察组阳性检出例数为27例，阳性检出率为96.43%，观察组阳性检出率明显更高，P

简介：摘要目的探讨腹部超声加超声引导下探针探查诊断子宫内膜息肉的疗效并进行分析。方法选取我院2016年10月-2017年12月期间收治的子宫内膜息肉患者80例，嘱咐患者适当充盈膀胱后仰卧于检查床上，取膀胱截石位，常规经腹超声进行纵切、横切和斜切，从多方位扫查观察子宫及双侧附件区，观察子宫位置、大小、形态、肌层和内膜回声，双侧附件区有无异常包块，并测量内膜厚度，仔细观察病灶部位、数目、大小、形态，同时外阴常规消毒后，上窥器，探针经窥器缓慢进入患者宫腔内，观察结果。结果80例子宫内膜息肉病例中，其声像图特征70例表现为宫腔内及宫颈管内实性高强回声结节，边界清，回声均匀。4例表现为混合性不均匀回声，曾误诊为子宫内膜囊性增生，6例为中等回声，息肉肉眼呈淡红色，其形态为条形、水滴状或椭圆形，可单发，也可多发，息肉大小不一等。结论经腹超声加超声引导下探针探查是诊断子宫内膜息肉的有效手段，尤其是在基层医院值得推广。

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简介：摘要目的研究实时PCR探针熔解曲线技术在检查耐多药结核的临床应用方法，并与传统的结核菌培养及药敏试验作对比分析，从而得出其应用价值评价。方法回顾性分析我科2012年1月至2016年4月收治的50例耐多药结核病人的药敏检查结果。51例病人均做了实时PCR探针熔解曲线技术的药敏试验，其中11例病人还同时作了传统的结核菌培养及药敏试验。以结核菌培养及药敏试验作为金标准，并对两种检查方法作对比分析，得出其应用价值评价。结果耐INH、RFP、EMB、SM、OFX共12例，耐INH、RFP共21例，耐INH、RFP、EMB共15例、单耐INH者2例，单耐RFP者1例。11例作两种检测方法的药敏结果符合率为97.22%。结论实时PCR探针熔解曲线技术可快速、灵敏、特异检测结核耐药。

简介：摘要目的探讨子宫内膜病理检查对异常子宫出血的诊断价值。方法回顾性分析759例异常子宫出血病人诊断性刮宫后送子宫内膜病理检查的类型。结果759例患者中有子宫内膜器质性病变168例；子宫内膜有功能性改变255例；与正常月经周期各期子宫内膜相似336例。结论诊断性刮宫后送子宫内膜病理检查，可对子宫内膜病变进行确诊，为临床诊治提供重要依据。

简介：摘要目的探讨金属探针在过度倾屈子宫放置固定式宫内节育器中的应用效果。方法选取2014年3月至2015年7月期间我站收治的需放置固定式宫内节育器70例，其中过度倾屈子宫患者20例。20例均于金属探针的辅助作用下置入固定式宫内节育器，回顾分析患者的基本资料及置入情况。结果70例患者均一次性完成节育器置入治疗，平均手术时间为（3.4±1.2）min；平均术中出血量为（3.1±0.3）mL；阴道流血时间较长者共6例，占8.6%；月经异常者共9例，占12.8%；腰腹痛者4例，占5.8%。但随着时间的延长，患者不良反应症状明显减轻，无需进行特别处理。结论过度倾屈子宫放置固定式宫内节育器治疗中，通过金属探针进行辅助放置可提高手术成功率，降低术后不良反应的发生。

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简介：摘要目的分析彩色超声检查子宫肌瘤的诊断价值。方法回顾性分析2013年3月-2014年3月本院拟诊为子宫肌瘤患者152例的临床资料，对比患者的子宫肌瘤超声图像的检查结果和手术病理学结果，以分析彩色超声检查子宫肌瘤的诊断价值。结果术前以超声检查诊断为子宫肌瘤的152例患者，经手术病理学结果证实，确诊子宫肌瘤患者143例，诊断符合率94.08%，143例确诊患者中92例（64.34%）无明显临床症状与体征。病变位置分析中，位于浆膜下48例（33.57%），位于黏膜下25例（17.48%），肌壁间98例（68.53%）；分析回声类型，高强度回声30例（20.97%），中强度回声37例（25.87%），低强度回声67例（46.85%），混合回声9例（6.29%）；肌瘤内的血流形态呈不规则形态3例（2.10%），规则形态120例（83.92%），点状形态20例（13.99%）。结论彩色超声诊断子宫肌瘤具有较高的诊断率，且能清楚诊断子宫肌瘤的大小、位置、血流状态等基本情况，由此可知彩色超声对诊断子宫肌瘤具有重要意义。

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