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浅谈真空磁控溅射镀膜底板崩渣原因及常见处理方法

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摘要摘要：真空磁控溅射镀膜技术是目前大批量镀膜玻璃生产中最主要的技术之一，它具有膜层厚度均匀、基片温度低、沉积速度快等一系列优点，但是由于真空磁控溅射镀的设备工作特点，生产过程中镀膜腔室很容易在辊道底板上形成积渣，若积渣与底板结合不紧密，很容易拱起或者崩渣，当玻璃传送到拱起或者崩渣处就会造成玻璃表面划伤，甚至导致玻璃走斜与其他玻璃相撞，造成腔室破玻璃的严重事故。本篇文章主要对真空磁控溅射镀膜底板崩渣原因及常见处理方法进行探讨，希望可以对玻璃深加工企业预防镀膜底板崩渣有一定的参考价值。

DOI 2d3815wgj9/7657467

作者任怀学

机构地区东莞南玻工程玻璃有限公司广东东莞 523141

出处《中国科技信息》 2023年12期

关键词真空磁控溅射崩渣

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2023年10月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）