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微电子器件设计与制造中的新材料应用研究

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摘要摘要：微电子器件的小型化和高性能化对材料提出了新的要求。本文首先探讨了微电子器件设计与制造中的新材料应用的重要性，然后分析了当前的研究现状，最后展望了未来的发展趋势。本研究对于促进微电子器件设计与制造的进步具有重要意义。

DOI 2d311z0x84/8431319

作者张晓鹏1田璐2

机构地区 1.身份证号码:140105198209073310

出处《城镇建设》 2024年8期

关键词微电子器件新材料应用研究发展趋势

分类 [建筑科学][市政工程]

出版日期 2024年07月03日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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