简介:摘要:根据深化本科教学改革要求,结合《材料的表征与测试》课程特征,本文以OBE理念为指导思想,从教学内容、教学模式、教学资源、教学方法和考评体系等方面入手进行了教学改革探索,以激发学生的学习兴趣,培养学生解决实际问题的综合能力,强化学生的创新意识,从而促进学生知识、能力、素质协调发展,为今后的教学提供一定的参考。
简介:摘要:本项目拟采用局部刻蚀的方法,在SOI顶层硅上引入U型对称敏感电阻及L型半岛结构,实现高灵敏度、低非线性误差的MEMS压力敏感芯片制作。量程为100kPa的硅压阻式压力敏感芯片测试后其灵敏度达到40mV/mA,非线性误差小于±0.1%FS。