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  • 简介:GaAs半导体材料可以提高器件运行速度,日益引起人们的注意,但是也给器件制造者带来了许多问题。在本文个,一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来,该工艺采用三层胶方法,曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的,并且取得了好的结果。

  • 标签: GAAS 半导体材料 亚微米X射线T型栅工艺 制造 半导体器件 X射线光刻
  • 简介:道德认知不能仅停留于知识层面。它最终应该内化为学生的一种品质,升华为学生的一种精神,而传统的教学方法使学生获得的道德认识却难以实现这一升华。因此,我们在思想道德教育中必须融入现代教育理念,让学生从自身实际出发,以兴趣为先导,以内需为动力,以实践为载体,积极倡导自主学习、合作学习与探究学习。使学生的主体性得到充分的发挥,让学生在主动思考、写作探索、亲身经历中自主地去发掘,自主地去构建科学的道德认知,为自身思想道德素质的全面提高创设扎实的基础。

  • 标签: 锂资源 聚变堆 世界 中国 DT 评价
  • 简介:利用角分辨紫外光电子谱对乙烯和乙炔气体在Ru(1010)表面的吸附及与K的共吸附的研究结果表明:当衬底温度超过200K,乙烯即发生脱氢反应,σCH和σCC能级均向高结合能方向移动。在室温下,σCH和σCC能级位置与乙炔在Ru(1010)表面的吸附时的分子能级完全一致。乙烯发生脱氢反应后的主要产物为乙炔。衬底温度从120K到室温,Ru(1010)表面上乙炔的σCH和σCC能级均未发现变化。室温下乙炔仍然可以在Ru(1010)表面以分子状态稳定吸附。在有K的Ru(1010)表面上,室温时σCC谱峰几乎。碱金属K的存在促进了乙炔的分解。

  • 标签: C2H2 C2H4 K Ru(1010) 共吸附 UPS
  • 简介:利用扩展X射线吸收精细结构技术对用化学共沉淀法制备的非晶和纳米ZrO2·15%Y2O3体系进行了研究。分析结果显示,在从非晶态向纳米结构晶化的过程中,最近邻的Zr-0配位层的配位数和键长没有发生明显的改变,说明300℃温度处理的样品已经形成的900℃温度处理相同的最近邻局域结构。而对于Zr-Zr(Y)配位层,随着晶粒尺寸的减小,配位数明显降低,键长显著缩短,具有比Zr-O配位层更大的无序。这些结果表明晶粒尺寸的变化对于较远配位层的影响要比对最近邻的影响大得多。

  • 标签: ZrO2 Y2O3 EXAFS 晶化 配位数 键长
  • 简介:利用XRD、TPR和EXAFS等手段考察了焙烧温度对Cu/MnO2/ZrO2催化剂性能影响,结果表明,随着焙烧温度增加,铜的配位环境发生变化,铜和锰之间相互作用增强,有效地防止铜组分在还原及反应过程中聚集长大,从而使催化剂活性显著增加,当催化剂经过高温焙烧,催化剂活性由于ZrO2结晶和铜的聚集而降低。

  • 标签: Cu/MnO2/ZrO2催化剂 焙烧温度 活性测试
  • 简介:采用水热合成法制备了Ni/CeO2-ZrO2-A12O3催化剂。进行了添加和不添加水蒸气的CH4-CO2催化重整反应,测量了积碳量,并用EXAFS手段测试了催化剂Ni的K吸收边。结果表明,反应前后最近邻Ni—Ni配位距离无明显变化,而配位数却变化明显。无水蒸气反应后Ni-Ni配位数有较大幅度的减少,而添加了水蒸汽,Ni—Ni配位数比反应前减少幅度小。水蒸气的添加能减少积碳量,稳定催化剂中Ni的结构,从而提高催化反应的稳定性。

  • 标签: 水蒸气 CH4 CO2 Ni/CeO2-ZrO2-A12O3催化剂 水热合成法 EXAFS
  • 简介:ThisworkinvestigatedC2F6/O2/ArplasmachemistryanditseffectontheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kdielectricsin60MHz/2MHzdual-frequencycapacitivelycoupleddischarge.FortheC2F6/Arplasma,theincreaseinthelow-frequency(LF)powerledtoanincreasedionimpact,promptingthedissociationofC2F6withhigherreactionenergy.Asaresult,fluorocarbonradicalswithahighF/Cratiodecreased.Theincreaseinthedischargepressureledtoadecreaseintheelectrontemperature,resultinginthedecreaseofC2F6dissociation.FortheC2F6/O2/Arplasma,theincreaseintheLFpowerpromptedthereactionbetweenO2andC2F6,resultingintheeliminationofCF3andCF2radicals,andtheproductionofanF-richplasmaenvironment.TheF-richplasmaimprovedtheetchingcharacteristicsofSiCOHlow-kfilms,leadingtoahighetchingrateandasmoothetchedsurface.

  • 标签: 等离子体化学 放电特性 蚀刻 薄膜 双频率 功率LED
  • 简介:用磁控溅射方法制备了一系列[C(t)/Cu(2.04nm))In(n=20,30)周期多层膜,利用四端点法、振动样品磁强计研究了多层膜的电磁性质,样品的磁电阻随钴亚层厚度的增大有一最佳值t=1.2nm。利用同步辐射掠入射X射线散射(衍射)技术在不同的X射线能量下研究了耦合多层腹的界面结构,探索了耦合多层膜中磁电阻增强的可能原因。

  • 标签: n周期多层膜 结构 巨磁电阻 磁控溅射 同步辐射掠入射X射线散射
  • 简介:Edgeplasmacharacteristicswerestudiedbyafast-scanning4-probearrayandaMach/Reynoldsstress/Langmuir10-probemovablearrayintheboundaryregion.Theseprobescouldmeasuretheedgeplasmatemperature,density,poloidalelectricfield,radialelectricfield,Reynoldsstress,poloidalrotationvelocitiesandtheirprofiles,whichcouldbeobtainedbychangingtheradialpositionsoftheprobearrayshotbyshot.Themeasuredresultswereusedtoanalyseplasmaconfinement,turbulentfluctuationsandcorrelations.Thefixedflush3-probearraysweremountedonthe4-divertorneutralizationplatesatthesametoroidalcross-sectioninthedivertorchamber.Theseprobeswereusedtomeasuretheprofilesoftheelectrontemperature,densityandfloatpotentialinthedivertorchamber.Edgeplasmabehavioursinbothlimiterconfigurationanddivertorconfigurationarecompared.Thedecaylengthsoftheedgetemperatureanddensityweremeasuredandisemphasizedforplasmabehavioursofthesupersonicmolecularbeaminjectionandlowerhybridcurrentdrive.ThedependenceoftheradialgradientofReynoldsstressonthepoloidalflowandtheradialgradientoftheelectricfieldonturbulentlossarediscussed.

  • 标签: 边缘等离子体 偏滤器 粒子约束 快速扫描探头 超声分子束注入 HL-2A
  • 简介:TooptimizetheoperationparametersofthebeamlineofNBIonHL-2A,featuresofthebeamline,includingthebeamprofileandthepowerdepositedoncomponentsandinjectedintothetokamakplasma,weremeasured.Theoperationalparametersofthefoursourcesonthebeamlinewereoptimizedwiththemonitorofthebeamprofileandbeampower,andthetransmissionefficiencyoftheNBIinjectedpowerwasthereforeincreased.AbeamdiagnosticsystemforthebeamlineoftheNBIsystemonHL-2Aaswellasthediagnosedresultswasalsopresented.

  • 标签: NBI 束剖面 HL A型 等离子体注入 测量
  • 简介:用EXAFS方法研究了重金属Zn(Ⅱ)在δ-MnO2上吸附的微观结构及吸附机制。在pH5.50,0.1M硝酸钠介质中,吸附-解吸实验表明Zn(Ⅱ)在δ-MnO2上的吸附可逆性很高.EXAFS结果表明,δ-MnO2表面上吸附态Zn2+以六配位的水合离子八面体形式存在。八面体的水合Zn^2+离子与δ-MnO2的结构单元MnO6八面体通过共用O原子结合,形成角-角结合的弱吸附.Zn-O平均原子间距为2.071A,Zn-Mn平均原子间距为3.528A。同一条等温线上随着吸附量增加,角-角结合的弱吸附形式基本上没有变化。Zn(Ⅱ)在δ-MnO2上较高的吸附可逆性是由于吸附态Zn(Ⅱ)与δ-MnO2以弱吸附的角-角形式结合所导致的。

  • 标签: Zn/δ-MnO2吸附结构 EXAFS 重金属污染 硝酸钠 可逆性 解吸