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  • 简介:在研发一套基于0.18μm工艺的全新半导体芯片时,由于芯片工艺的要求我们将标准0.18μm工艺流程中的接触孔蚀刻阻挡层由原来的UVSIN+SION改为SIN,但却引进了PID(等离子体损伤)的问题。当芯片的关键尺寸减小到0.18μm时,栅氧化层变得更薄,对等离子体的损伤也变得更加敏感。所以如何改善PID也成为这款芯片能否成功量产的重要攻坚对象。这一失效来源于接触孔阻挡层的改变,于是将改善PID的重点放在接触孔蚀刻阻挡层之后即后段工艺上。后段的通孔蚀刻及钝化层的高密度等离子体淀积会产生较严重的等离子体损伤,因此如何改善这两步工艺以减少等离子体损伤便成为重中之重。文中通过实验验证了关闭通孔过蚀刻中的磁场以及减小钝化层的高密度等离子体淀积中的溅射刻蚀功率可以有效改善芯片的等离子体损伤。通过这两处的工艺优化,使得PID处于可控范围内,保证了量产的芯片质量。

  • 标签: 半导体技术 等离子体损伤 通孔蚀刻 高密度等离子体淀积
  • 简介:摘要我国在大部分地区建立的基本气象站在风速风向采集时一般使用风杯式风向风速仪的测风装置,但是在一些高湿度、低温以及风沙较大等气候恶劣的地区气象站,由于风杯式风向风速仪存在旋转件,同时存在磨损损耗,故而易被风沙损耗,同时易受冰冻、雨雪的干扰,从而影响风相关参数的采集,需定期维护。

  • 标签: 固态测风装置 CFD分析
  • 简介:摘要随着社会的发展,数字型仪表的测量方式逐渐普及。而目前国内转辙机内液压压力的检测工作基本是通过作业人员使用传统的机械型压力表测压来进行。与数字型仪表相比,机械仪表易损坏、读数不准确、且不具有数据存储与读取历史数据功能,作业效率低,使用体验较差,同时影响铁路路况观测的时效。人机工程学是通过探究人、机、环境三者间的关系与作用,从而使人、机、环境系统得以优化与完善。由于产品类型逐步的多样化,人机工程学的应用也越来越多。本文从人机工程学角度出发,结合使用者的行为特性,从压力表的功能分析与方案选择入手,对其功能、结构、界面等进行人工程学设计与人性化探讨。对检测技术、作业人员的使用体验加以改进,为其提供更加安全有效的工作方式,从而提高道岔检测的时效和检测质量。

  • 标签: 人机工程学 转辙机 数字压力表
  • 简介:摘要随着科学技术的不断发展,越来越多的新型材料被制造并且应用在各行各业的发展中。尤其是先进复合材料的出现并且在航天领域中的广泛应用,推动了中国航天事业的进一步发展,同时,航天事业也对复合材料的应用提出了新的要求。在航天器材建造中,所使用的复合材料具有各向异性和非均质的特点,这种特点使得其对于分层损伤和层间断裂十分敏感,为了减少这种损伤对于航天器材的作用发挥的影响,研究人员开始对于冲击损伤下航空复合材料修复技术进行了研究。

  • 标签: 冲击损伤 航空复合材料 修复技术
  • 简介:在自动楔焊键合中,要提高键合引线的抗拉强度,最重要的一点就是要减小第一键合点跟部的损伤。文章简述了自动楔焊键合的工艺过程,分析了在自动楔焊过程中造成第一键合点跟部损伤的主要原因:劈刀本身结构会对键合引线造成一定的摩擦损伤,劈刀在键合第一点后垂直上升所产生的应力会对第一键合点根部造成损伤,键合引线在拉弧过程中也会造成键合引线摩擦受损,送线系统的张力也会对第一键合点根部造成一定的损伤。文中还讨论了如何尽量减小摩擦和应力对第一键合点跟部所造成的损伤

  • 标签: 自动楔焊键合 第一键合点 跟部损伤 劈刀
  • 简介:文章介绍了一个用于压力传感器的∑-△AD转换器的调制器设计。它能在低于200mV输入信号伴随100μV低频噪声的条件下提供高达87dB的信噪比,有效精度达到14位,并且具有可编程的过采样率以适应不同应用需求?采用0.5μmCMOS双多晶三铝工艺设计,3.4V电源,总功耗小于200μW。全文分析了AD转换器在系统中应用时,系统对AD的性能指标要求以及如何设计具体的参数来达到所要求的精度。

  • 标签: 压力传感器 模数转换器 信噪比
  • 简介:随着我国干线传输网的升级改造,光强度调制——直接检波解调方式中,光纤色散对传输系统的损伤已成为考虑传输系统扩容方案的主要限制因素,本文就色散对传输系统的损伤机理分析目前我们采取的扩容方案,并对超大容量光缆系统技术在我国的应用谈点看法

  • 标签: 色散 传输系统 设计
  • 简介:针对法布里—珀罗干涉型压力传感器进行光学解调技术研究,采用以双折射光楔为核心的白光偏振干涉系统对传感干涉系统进行解调,利用不同尺寸光楔设计对比实验并进行加压检测,确定传感系统与解调系统匹配的具体设计方法.

  • 标签: 法布里—珀罗 光学解调 双折射光楔 白光
  • 简介:摘要本文基于博物馆陈列设计的价值出发,分别对博物馆陈列设计的多样、交流和艺术进行探究,旨在提高博物馆陈列设计水平,令博物馆陈列设计满足时代需求,仅供相关人员参考。

  • 标签: 博物馆 陈列设计 多样性 交流性 艺术性
  • 简介:介绍可靠的一般概念、计算公式以及在工程设计中的应用。

  • 标签: 故障率 MTBF 备件量
  • 简介:据慧聪化工商务网2003年7月11日讯过去20年,人们利用结构可靠分析(SRA)方法获得的结果,已经制定了腐蚀油气管道未来安全运行策略。安全运行策略涵盖了对管道最佳复查间隔期的确定、重新检测额度的规定、管子腐蚀速率的降低,以及在需要对某些管

  • 标签: 结构可靠性 腐蚀性管道 安全运行 油气管道
  • 简介:为提高广西区电信有限公司的营销能力,解决派单式营销在实践与发展中遇到的主要问题和困难,提高派单式营销的针对,在全区范围内亟需建立竞争信息管理体系。这对于提高派单式营销的准确和工作效率,支持区公司和各市分公司的营销决策,既有特别重要的现实意义,

  • 标签: 广西区电信有限公司 竞争性信息管理 营销能力 工作效率 营销决策
  • 简介:在前一章的基础上,与DFM检查表相结合介绍DFM设计指南,使DFM工作更系统化,条理化。参考了IPC标准和本人实际工作经验,给大家一个简单扼要的认识。

  • 标签: 可制造性 DFM检查表单 线路板组装工艺 设计
  • 简介:<正>00614HighFrequenceParasiticEffectsforOn-WaferPackagingofRFMEMSSwitches/A.MargomenosandL.P.B.Katehi(UniversityofMichigan,USA)//2003IEEEMTT-sDigest.—1931介绍了RFMEMS开关的圆片级封装设计。所设计的圆片级封装件在频率高至40

  • 标签: 圆片级封装 MICHIGAN 可靠性研究 DIGEST WAFER Packaging
  • 简介:DFM(DesignForManufacture)是为了在制造阶段,以最短的周期、最低的成本达到最高可能的产量。把DFM的原则应用到印刷电路装配,已经显示了降低成本和装配时间达三分之二,第一次通过率从89%提高到目前为99%。从这些数字,DFM是电子制造公司显而易见的选择。

  • 标签: DFM 可制造性 印刷电路装配 电子制造 通过率 显示
  • 简介:全球通信铁塔数量中,我国通信铁塔数量比例已达到33%。随着各地区对通信铁塔需求量的持续增多,通信铁塔的安全以及安全评估作用重大。文章主要对我国通信铁塔的种类及特点作具体介绍,分析了其安全及其安全评估现状,并探讨了安全评估相关措施。

  • 标签: 通信铁塔 安全性评估 动态采集 性能检测
  • 简介:前言国际上,随着高清电视在发达国家的逐渐普及,电视广播早已由立体声发展到5.1环绕声了。而我国究竟应该如何开展这项电视声音广播的改革?这一问题已经摆到了广播电视声音工作者面前。一些电视台认为,从50多年的单声道电视广播一下子跳到5.1声道,是否可能?是否太冒进?是否不现实?

  • 标签: 5.1环绕声 单声道 声像 监听