简介：Ananalysisisgiventoexplaintheinstabilityofthehighconductivitypropertyofnc-Si:Hfabricated.Detaileddiscussioniscarriedoutconcentratingontheconductivityandgrowthmechanism.Itisassumedthattheinstabilityoftheconductivityofthenc-Si:Hstemsfromtwopart:thephasetransitionfromnanocrystallitesintoa-Si:H,andtheoxygenincorporationofthethinlayerofthefilm,whichcontributesmoretotheeffectwhenthefilmsufferstheexposuretoair.Thetheoryisinagreementwiththeexperimentandmeasurement.

简介：Polymerethyleneoxide(PEO)functionalfilmscanbeusedasamaterialforbiocompatibleresearch.Inthispaper,weinvestigatedthestructuresofPEO-likefilmspolymerizedonSisurfacewithdiethlyeneglycoledimethylether(DEGDME)astheprecursorandArasthedilutiongasbyplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD).Andthepulseplasmamodelwasemployedtopolymerizethefunctionalfilms.ThechemicalstructureofthecoatingswasinvestigatedbyFouriertransforminference(FTIR)andX-rayphotoelectronspectroscopy(XPS).TheresultsindicatethatPEO-likestructurefilmscanbepolymerizedbyDEGDME/Arplasma.TheconcentrationofC-Ofunctionalgroupspolymerizedinthelohgplasma-offtimewasmuchhigherthanthatintheshortplasma-offtime.Withthesamedischargeparameters,moreover,theC-Oratioinpolymersincreasedwithahigherinjectedpower.

简介：AseriesofsamplesdepositedbyVHF-PECVDatdifferentpressureswerestudied.Themeasurementresultsofphotosensitivity(photoconductivity/darkconductivity)andactivationenergyindicatednearthesamerulewiththechangeofthepressure.TheresultsmeasuredbyRamanscatteringspectra,X-raydiffractionandFTIRallprovedtheevidentcrystallizationofthematerials.Treatingthep/iinterfacebyhydrogenhasagreatimprovingeffectontheperformanceofthemicrocrystallinesilicon(μc-Si)p-i-nsolarcellsifthetreatmenttimewasappropriate.Anefficiencyof4.24%forμc-Sip-i-nsolarcellsdepositedbyVHF-PECVDwasfirstlyobtained.

简介：在这个工作，n类型非结晶的硅氧化物薄电影被RF-PECVD方法用SiH的煤气的混合物扔4,公司2,H2,和PH3。硅氧化物的免职率，折射索引，乐队差距，水晶的体积部分，和传导性变瘦电影坚定、分析。有1.99的折射索引的电影，2.6eV的乐队差距和10的电导率<啜class=“a-plus-plus”>7S/cm被获得，它对中间的反射镜层合适。

简介：采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法在玻璃衬底上制备出非晶硅薄膜，利用正交试验法对射频功率、气体总压、硅烷比例、沉积时间、退火温度、退火时间因素进行了研究，对透过率和电阻率进行了分析，结果表明，采用PECVD法成功制备出非晶硅薄膜。正交实验表的分析得知，气体总压对透过率影响最大；硅烷比例对电阻率影响最大。制备非晶硅薄膜的优化条件为：射频功率30W、气体总压100Pa，硅烷5％、沉积时间5min、退火温度300℃、退火时间45min。非晶硅薄膜的光透过率93．18％，电阻率为13．238kΩ·cm。

简介：摘要：受盐雾、潮湿和水分等环境影响电子产品在使用过程中易产生故障，迫切需要制备防护膜提高其可靠性。本文中采用等离子增强化学气相沉积法（PECVD）以六甲基环三硅氧烷为单体沉积过渡层，再分别沉积二丙烯酸二乙二醇酯和2-(全氟癸基)乙基甲基丙烯酸酯在过渡层上形成纳米复合防护膜层。并研究了放电功率、沉积时间、单体流量、氦气流量、缓蚀剂等对复合膜的性能影响。

简介：摘 要：本文从薄膜液晶面板制造工艺入手，列举了该类工艺常见的废气种类，重点介绍了PECVD机台的运作原理及其废气的排放处理，最后通过归纳整理，给出了一种可靠的PECVD废气处理方案。

简介：Inthispaper,polycrystallinesiliconfilmsweredepositedbyelectroncyclotronresonanceplasma-enhancedchemicalvapordeposition(ECR-PECVD)usingSiH_4/ArandSiH_4/H_2gaseousmixture.EffectsofargonflowrateonthedepositionefficiencyandthefilmpropertywereinvestigatedbycomparingwithH_2.TheresultsindicatedthatthedepositionrateofusingArasdischargegaswas1.5-2timeshigherthanthatofusingH_2,whilethepreferredorientationsandthegrainsizesofthefilmswereanalogous.FilmcrystallinityincreasedwiththeincreaseofArflowrate.OptimizedflowratioofSiH_4toArwasobtainedasF(SiH_4):F(Ar)=10:70forthehighestdepositionrate.

简介：采用PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术在不锈钢或玻璃衬底上制备微晶Si（硅）薄膜，研究沉积温度对PECVD法所制备的微晶硅薄膜性质的影响。从实验结果中可以看出，随着沉积腔内沉积温度的不断升高，微晶硅薄膜晶化率、晶粒尺寸在200-400℃范围内不断增加。当沉积温度为400℃时，薄膜的晶化率、晶粒尺寸得到显著提高，当沉积温度超过500℃时，薄膜的晶化率、晶粒尺寸反而略有下降。在本实验室条件下，沉积温度为400℃时十分有利于硅薄膜由非晶硅转化为微晶硅。

简介：摘要：以TFT工艺为基础的器件，主要的材料包括绝缘层（SiNx）、非晶硅半导体层（a-Si）和电极层材料。其中，绝缘层和非晶硅层需要通过CVD成膜制备。在所有CVD成膜技术中，PECVD可以起到明显的增强效果，该种技术的能量来自等离子体（Plasma），反应气体的活性增加，保证薄膜在积淀之后可以更加均一，同时具有良好的覆盖率。本文主要分析了工艺参数对PECVD氮化硅成膜效率的影响，在实验的过程中对以射频功率为代表的几个参数进行调整，最后得出相关的实验结论。

简介：研究表明含氟气体的性质决定了原子氟（F）的转化效率,通常在CxFy气体中x的值越大,氟（F）的转化效率也就会越高。所以C3F8（八氟丙烷）比C2F6（乙氟烷）具有更高的利用效率,更少的PFC（全氟化物）的排放。文章主要研究在以四乙氧基硅烷（TOES）为基础的离子增强化学气相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD）的清洗制程中,利用分解效率高的C3F8气体取代C2F6气体。通过实验设计（DesignOfExperiment,DOE）,调整腔体压力、射频（RF）功率、气体流量等参数,最终得到最优化的新清洗配方。应用到实际的量产中,有效地降低了成本,减少了PFC的排放。

简介：“法碣”、“法谒”与“法偈”这三个“词语”，商务印书馆的《现代汉语词典》（2005年6月第5版，2008年6月河北第384次印刷）和《古代汉语词典》（1998年12月第1版，2008年4月北京第21次印刷）均未收录。之所以提起它们，跟下面这道2008年普通高等学校招生全国统一考试（重庆卷）的语文题目有关。这是道改错别字的题，题目如下：

简介：1．6个人排成一排，甲、乙二人必须相邻的排法有种．2．用1，2，3，4，5，6，7，8组成没有重复数字的八位数，其中1与2相邻、3与4相邻、5与6相邻、7与8不相邻的八位数共有多少个？3．某道路旁有10盏路灯，为节约用电，准备关掉其中3盏．已知两端的路灯不能关，并且关掉的灯不能相邻，则有多少种不同的关灯方法？

简介：搞社会主义市场经济,企业家们在经营管理中都面临一系列的新情况、新问题。如何提高自身的素质和能力,不断地把经营管理工作提高到一个新水平,这是企业领导人不能不考虑的一个重要问题。哲学是管理行为的一个组成部分,一个核心部分,不少的企业家看到了提高自身哲学素养的重要性。他们自觉地学习、应用唯物辩证法,增强了观察、分析、处理问题的能力,在经营管理中取得了很好的成绩。天津市圣罗衬衫总厂厂长吴树旺就是生动的例证。同时,广大的理论工作者也始终关注着经济建设的这个中心。当前企业的经营管理问题是哲学界非常关心的问题之一,愿企业界朋友和哲学专家们携起手来,让哲学在群众中、在实践中,焕发出更强的生命力。

简介：2004年是中国法治建设中非常重要的一年。有着55年历史的法大及法大人,在推进中国法治进程和法学教育的过程中,任重道远。

简介：许多同学谈到写作文，就说没有内容可写。其实，作文是把自己看到的、听到的、想到的内容或亲身经历的事情用恰当的语言表达出来，它是源于生活的。如果我们平时注意观察、感受生活中的点点滴滴，那么，还会愁写作文没有题材吗？

简介：

简介：我觉得在解决分数问题的教学中应强调算术法与方程法并重，使其相辅相成。当学生对用算术法求一个数的几分之几是多少的问题已经掌握时．再转到学习“已知一个数的几分之几是多少，求这个数”的问题，先逐步出现方程法。并在学生熟悉方程法后，再去沟通方程法与算术法的联系，然后让学生选择喜欢的解法。这样处理对学生的思维发展和今后中学数学的学习也会有帮助。现以最常见的分数问题为例激谈本人在教学中的一些做法。

简介：大家知道，传统的用片状溶剂合金生产金刚石的做法是将溶剂合金片与石墨片交替叠加放置在由传压介质构成的腔体中，再通过加压加热使部分石墨变成金刚石。这种方法在我国的金刚石生产中已沿用了四十多年。实践证明这种做法有缺点，不能够生产数量多、质量又好的金刚石，而且生产成本也比较高。近年来用粉状溶剂合金与石墨粉混合成型作为原料生产金刚石的方法受到人们的重视，

简介：“法”，即“法相”，主要是指京剧（戏曲）演员在演出中的“亮相”。大家知道，“亮相”是属于表演时的一个程式动作，是演员在唱念做打的表演过程中，告一段落时，即处于相对静止状态下的一个停顿。这一停顿可不简单．要求演员将手、眼、身、步统一协调到一个准确、均衡、美观的动作中去。通过这一塑像式的姿态．能充分显示台上人物的外部精神和内在心理的双重状态。“亮相”做得不准、不稳、不美．就会大大削弱舞台演出效果。